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氮氣、高純氮氣使用操作時要注意什么:
進行吹掃、置換的設(shè)備、管道系統(tǒng)必須采取可靠的隔離。所有與吹掃無關(guān)的部位、系統(tǒng)要關(guān)閉或加盲板隔離,相關(guān)的操作嚴(yán)格按盲板示意圖執(zhí)行,同時附上盲板隔離檢查匯總記錄。置換時要逐個打開所有的排污閥或放空閥泄壓和排放余液,調(diào)節(jié)閥的前后閥旁通也應(yīng)打開。
?置換應(yīng)根據(jù)氮氣和被置換介質(zhì)密度的不同,選擇氮氣進入點和被置換介質(zhì)的排放點,確定取樣分析部位,以免遺漏,防止出現(xiàn)死角。在規(guī)定的采樣點測量氧含量、烴類氣體含量,采樣點應(yīng)選在氮氣置換接氣口的下游(終點和易形成死角的部位附近)。氮氣置換至氧含量小于0.5%后,泄壓至微正壓狀態(tài)保壓。
什么是電子氣體
電子氣體是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的原材料,它們廣泛應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。例如在目前工藝技術(shù)較為先進的超大規(guī)模集成電路工廠的晶圓片制造過程中,全部工藝步驟超過道,其中大約要使用種不同種類的電子氣體。
電子氣體輸送系統(tǒng)是指為滿足工藝制程的需求,在充分保證工藝和產(chǎn)品安全使用的前提下,將電子氣體從氣源端無二次污染、控制工藝需求的流量和壓力等參數(shù)、穩(wěn)定地輸送到工藝生產(chǎn)設(shè)備的用氣點。根據(jù)氣體性質(zhì)和供應(yīng)包裝的不同。
標(biāo)準(zhǔn)氣體有哪些分類
標(biāo)準(zhǔn)氣體有哪些分類?
1、常見的標(biāo)準(zhǔn)氣體按用途包括:氣體報警類標(biāo)準(zhǔn)氣體、電力能源類標(biāo)準(zhǔn)氣體、石油化工類標(biāo)準(zhǔn)氣體、環(huán)保監(jiān)測類標(biāo)準(zhǔn)氣體、衛(wèi)生類標(biāo)準(zhǔn)氣體、儀器儀表類標(biāo)準(zhǔn)氣體等。
2、標(biāo)準(zhǔn)氣還可用于環(huán)境監(jiān)測,有毒的有機物測量,汽車排放氣測試,然氣BTU測量,校正標(biāo)準(zhǔn),超臨界流體工藝等。
3、大型乙烯廠,合成氨廠及其它石化企業(yè),在裝置開車,停車和正常生產(chǎn)過程中需要幾十種純氣和幾百種多組分標(biāo)準(zhǔn)混合氣,用來校準(zhǔn),定標(biāo)生產(chǎn)過程中使用的在線分析儀器和分析原料及產(chǎn)品質(zhì)量的儀器。
標(biāo)準(zhǔn)氣體是引有氣體工業(yè)名詞,標(biāo)準(zhǔn)氣體屬于標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)。標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)是高度均勻的,良好穩(wěn)定和量值準(zhǔn)確的測定標(biāo)準(zhǔn),它們具有復(fù)現(xiàn),保存和傳遞量值的基本作用,在物理,化學(xué),生物與工程測量領(lǐng)域中用于校準(zhǔn)測量儀器和測量過程,評價測量方法的準(zhǔn)確度和檢測實驗室的檢測能力,確定材料或產(chǎn)品的特性量值,進行量值仲裁等。
標(biāo)準(zhǔn)氣體的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)—— 標(biāo)準(zhǔn)氣體是物質(zhì)的一個態(tài)。氣體與液體一樣是流體:它可以流動,可變形。與液體不同的是氣體可以被壓縮。假如沒有限制(容器或力場)的話,氣體可以壙散,其體積不受限制。標(biāo)準(zhǔn)氣體氣態(tài)物質(zhì)的原子或分子相互之間可以自由運協(xié)。氣態(tài)物質(zhì)的原子或分子的動能比較高。