高純/特種氣體的概念

半導(dǎo)體集成電路制造所需要的高純氣體主要分為兩大類：

1.普通氣體：也叫大宗氣體，主要有：H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。

2.特種氣體：主要指各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、刻蝕用氣體等。

半導(dǎo)體制造用氣體按照使用時(shí)的危險(xiǎn)性分類：

1.可燃、助燃、易然易暴氣體：H2 、CH4、H2S、NH3 、SiH4、PH3 、B2H6、SiH2CL3、CLF3、SiHCL3等

2.有毒氣體：AsH3、PH3 、B2H6等

3.助燃?xì)怏w：O2 、N2O、F2 、HF等

4.窒息性氣體：N2 、He 、CO2、Ar等

5.腐蝕性氣體：HCL 、PCL3 、POCL3 、HF、SiF4、CLF3等

一氧化碳（CO）做為一種無(wú)色無(wú)味的有毒性氣體，隨著私家車輛及地下車庫(kù)的普及，其導(dǎo)致的中i毒事件也頻頻見于報(bào)端。近年來(lái)國(guó)家對(duì)地下車庫(kù)一氧化碳檢測(cè)系統(tǒng)也開始要求 地下車庫(kù)的建設(shè)方便大家停車的同時(shí)，也帶來(lái)了一定的安全隱患，那就是地下車庫(kù)容易缺氧，車輛制動(dòng)容易釋放一氧化碳有毒有害氣體。怎么辦？那就需要地下車庫(kù)一氧化碳濃度監(jiān)測(cè)檢測(cè)，使用地下車庫(kù)一氧化碳報(bào)警器（地下車庫(kù)co探測(cè)器）時(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)地下車庫(kù)CO濃度，防止人員在地下車庫(kù)缺氧中i毒或者一氧化碳中i毒。

對(duì)地下車庫(kù)一氧化碳檢測(cè)系統(tǒng)也開始要求。產(chǎn)生CO較多的地方就是地下車庫(kù)了，而且地下車庫(kù)是屬于封閉或者半封閉的建筑，空氣流通自然不會(huì)順暢，地下車庫(kù)的環(huán)境污染主要來(lái)源于汽車尾氣，汽車尾氣的主要成分是一氧化碳。對(duì)人體組織缺氧，心臟和大腦的影響較為顯著

地下車庫(kù)是屬于封閉或者半封閉的建筑，空氣流通自然不會(huì)順暢，地下車庫(kù)的環(huán)境污染主要來(lái)源于汽車尾氣，汽車尾氣的主要成分是一氧化碳。對(duì)人體組織缺氧，心臟和大腦的影響蕞為顯著。

高純氣體的原材料難以再產(chǎn)

高純?cè)蠚怏w的質(zhì)量對(duì)標(biāo)準(zhǔn)氣體制備的準(zhǔn)確性，起著至關(guān)重要的作用，原料氣的不確定是構(gòu)成標(biāo)準(zhǔn)氣體合成不確定度的極為重要部分，因此，沒(méi)有高質(zhì)量的高純?cè)蠚?，就根本制備不出高?zhǔn)度的標(biāo)準(zhǔn)氣體。也正因如此，我國(guó)早在八十年代，為了標(biāo)準(zhǔn)氣體的需要，原化工部對(duì)我國(guó)的高純氣體研制進(jìn)行了多年的資金支持。

高純氣體必須滿足2 個(gè)條件:

1、主體成分含量必須大于某一定值。

2、各雜質(zhì)組分含量必須小于某一定值。

電子工業(yè)用氣、儀器儀表校準(zhǔn)用的零點(diǎn)氣、標(biāo)準(zhǔn)氣配制用氣、色譜載氣等均需滿足以上要求, 可列為高純氣體。

理論上, 高純氣體的純度= 主體成分含量= 1-∑ 雜質(zhì)含量。事實(shí)上, 用實(shí)驗(yàn)方法直接準(zhǔn)確測(cè)定高純氣體中主體成分含量是非常困難的。