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氮?dú)狻?strong>高純氮?dú)?/strong>使用操作時要注意什么:
拆卸、檢修有氮封的容器蓋板(盲板)、閥門時,必須先關(guān)閉進(jìn)氮閥門,必要時加板隔斷。作業(yè)人員要進(jìn)入氮封的設(shè)備,或探入氮封設(shè)備前,必須在辦理作業(yè)許可證的同時,進(jìn)行第二階段風(fēng)險(xiǎn)評估并經(jīng)額外授權(quán)方可作業(yè).進(jìn)入人員必須佩帶隔離式空氣防毒面具,二人協(xié)同進(jìn)行,設(shè)備人孔口外要有專人監(jiān)護(hù),未經(jīng)批準(zhǔn),嚴(yán)禁進(jìn)入和探入。
在打開經(jīng)過氮?dú)獯祾咧脫Q工藝處理的入孔或其它開口處,為防止未經(jīng)許可隨意進(jìn)入可能存在缺氧環(huán)境的受限空間,作業(yè)過程中人員全部離開后,監(jiān)護(hù)人員及時恢復(fù)設(shè)置。
在使用液氮裝軸承時提供良好的自然通風(fēng)條件。操作人員必須經(jīng)過專門培訓(xùn),嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。戴防寒手套,防止氣體泄漏到工作場所空氣中。
電子氣體的分類
一般電子氣體可劃分為大宗普通氣體、特種氣體和大宗特種氣體。目前電子消費(fèi)品的種類繁多以及升級換代日趨頻繁,同類產(chǎn)品的不同制造規(guī)模、不同級別檔次的生產(chǎn)工廠和科研機(jī)構(gòu)共存。
大規(guī)模供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模量產(chǎn)的超大規(guī)模集成電路廠(氣體種類包括等),以上的太陽能電池生產(chǎn)線(氣體種類包括發(fā)光二極管的磊晶工序線(氣體種類包括,代以上液晶顯示器工廠(氣體種類包括,光纖(氣體種類包括硅材料外延生產(chǎn)線(氣體種類包括等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大,采用先進(jìn)的工藝制程設(shè)備,用氣需求大,對穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴(yán)格的要求。上述工廠的大宗普通氣體多采用現(xiàn)場制氣或工業(yè)園區(qū)管道集中供應(yīng)方式,一個年產(chǎn)萬片的超大規(guī)模集成電路廠高純氮?dú)獾男枨蟪^,發(fā)光二極管的磊晶工序線和硅外延生產(chǎn)線的氫氣需求超過。除了普通鋼瓶(及以下)包裝的特種氣體外,還有多種類的特種氣體都普遍采用大包裝容器,由此它們被稱為大宗特氣,包括鋼瓶集裝格罐等。
如何保證電子氣體的安全儲存
如何保證電子氣體的安全儲存、使用操作,系統(tǒng)的工藝和產(chǎn)品本征安全設(shè)計(jì),在眾多的國際標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范如,等都有很詳細(xì)的規(guī)定,目前中國國內(nèi)也正在起草針對電子特種氣體的國家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范。通常而言,會根據(jù)氣體性質(zhì)和相容性,將氣體房分成可燃?xì)怏w房、腐蝕性氣體房、惰性氣體房等。氣體房規(guī)劃需要考慮建筑物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險(xiǎn)物總量控制等等。針對輸送系統(tǒng),特別是系統(tǒng),因總量較大,應(yīng)釆用隔離式建筑。氣體房和氣柜應(yīng)采用自動噴淋系統(tǒng)。而三氟化氯遇水反應(yīng),需要采用二氧化碳滅火系統(tǒng)。
使用電子氣體的工廠抽風(fēng)系統(tǒng),也根據(jù)危險(xiǎn)品性質(zhì)分成了普通排風(fēng)系統(tǒng)(,酸性排風(fēng)系統(tǒng)(,溶劑排風(fēng)系統(tǒng)(和氨氣排風(fēng)系統(tǒng)(。換鋼瓶時的吹掃尾氣,也建議排放至尾氣處理器中。輸送管道一般采用無縫管。施工釆用自動軌道焊接,經(jīng)保壓、氦檢漏和純度測試。對于毒、高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w,應(yīng)使用雙套管輸送。一些毒氣體如磷烷等,安全輸送系統(tǒng)(正在被廣泛使用。其鋼瓶內(nèi)采用負(fù)壓吸附的方式,用真空法輸送,從根本上避免了氣體的泄漏。氣體偵測系統(tǒng)(是全廠生命安全系統(tǒng)(的重要組成部分。對于偵測器的要求,除了精度高,反應(yīng)迅速外,還應(yīng)具備自檢功能。
高純氣體怎么做成零點(diǎn)氣體
高純氣體用作零點(diǎn)氣的制作完全類似于氣體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的制作,但操作過程可以簡化。通常使用的稀釋氣體中的某種或某類雜質(zhì)含量低于分析方法所采用測量儀器的小檢出量,則此種稀釋氣就可為“零點(diǎn)”氣使用。
零點(diǎn)氣體是用于在給定的含量范圍內(nèi),用給定的分析方法去校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)工作曲線的零點(diǎn)。當(dāng)其作為被測樣品進(jìn)入檢測儀表后,在儀器選下的測量范圍內(nèi),僅呈現(xiàn)儀表零點(diǎn)的響應(yīng)值,而不會產(chǎn)生偏離預(yù)置零點(diǎn)以外的響應(yīng)信號。對不同類型的檢測方法和不同燈頭型的檢測儀器,zui低檢測限會對零點(diǎn)氣體提出不同的要求。
如用在線分析儀器測量CO2高純氣體中的總烴含量時,可采用氣相色譜法用氫火焰離子化檢測器(FID)檢測,由于FID存在強(qiáng)烈的基體效應(yīng),當(dāng)采用不同基體的零點(diǎn)氣校正儀表時,會導(dǎo)到致不可忽略的誤差。