電子氣體污染控制要求日趨嚴格隨著電子消費品的升級換代，產(chǎn)品制造尺寸越來越大，產(chǎn)品良率和缺陷控制越來越嚴格，整個電子工業(yè)界對電子氣體氣源純度，以及杜絕輸送系統(tǒng)二次污染的要求越來越苛刻。基本上工業(yè)界對電子氣體氣相不純物以及顆粒度污染提出的技術(shù)指標，直接與分析儀器技術(shù)進步帶來的較低檢測極限（直接關(guān)聯(lián)。如傳統(tǒng)的激光顆粒測試儀可測到微米，而核凝結(jié)技術(shù)可達到微米。目前超大規(guī)模集成電路制造線寬已經(jīng)發(fā)展到納米，對于大宗氣體的純度都要求在級別，顆粒度控制直指分析儀器的下限。實驗室超高亮度技術(shù)指標已達到以上，對于氫氣和氨氣的純度控制要求也都小于氨氣則釆用多級精餾生產(chǎn)技術(shù)指標到達的白氨的氫氣需要采用先進的鈀膜純化器提純至。

高純管道在高純氣體輸送中的意義

常見氣體的種類 w* r% P( G( `5 K  _* u, A& ~

電子行業(yè)中常見氣體的分類：/ c9 A7 q6 A& P$ e, [& |; F3 O

普通氣體，也稱大宗氣體 （Bulk gas ）：氫氣（H2）、氮氣（N2）、氧氣（O2）、氬氣（A2）等

特種氣體（Specialty gas ）主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等

氬氣是一種惰性氣體，現(xiàn)在廣泛應用于工業(yè)行業(yè)，是一種很有用的稀有氣體，氬氣性質(zhì)非常不生動，它既不能焚燒，也不能助燃，因而穩(wěn)定性很好，氬氣不會發(fā)生化學反應而爆燃爆，只有可能因為科拉貝隆推導公式的壓強改變而燃爆。氬氣罐很結(jié)實，也不會像煤氣罐那樣單片橫飛，ArF是有的，但溫度改變不大，一般情況下，乃至高溫高壓下都沒有問題。 高純氬氣的國家履行標準是GB/T10624—1995，質(zhì)量要求到達99.999%以上。

氬氣是采用空氣分離提氬，即將液化的空氣進行精餾,得到粗氬.抽出粗氬,經(jīng)進一步提純可得到高純氬，高純氬在半導體工業(yè)中用作出產(chǎn)高純硅和鍺晶體的保護氣體；可用作系統(tǒng)清洗、屏蔽和增壓用的惰性氣體；在化學氣相堆積、濺射和退火等工藝中有所應用。高純氬也可作為色譜載氣.氬被廣泛用來充填弧光燈、熒光燈和電子管；焊接保護氣；在鈦、鈷和其他活性金屬的出產(chǎn)中用作屏蔽氣；在黑色冶金中用于吹煉特種鋼。

甲烷氣體的健康危害

侵入途徑：吸入。

健康危害：甲烷氣體對人基本無毒，但濃度過高時，使空氣中氧含量明顯降低，使人窒息。當空氣中甲烷達25%-30%時，可引起頭疼、頭暈、乏力、注意力不集中、呼吸和心跳加速、共濟失調(diào)。若不及時遠離，可致窒息。皮膚接觸液化的甲烷，可致冬傷。

甲烷氣體對環(huán)境可能有危害，對魚類和水體要給予特別注意。還應特別注意對地表水、土壤、大氣和飲用水的污染。