2017年，我國工業(yè)新舊動能轉(zhuǎn)換成效初顯，工業(yè)生產(chǎn)超預(yù)期回升、產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)優(yōu)化升級、企業(yè)效益明顯改善。2018年，隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)加速東移，中國電子特種氣體產(chǎn)業(yè)迎來歷史機遇期。氣體工業(yè)是國民經(jīng)濟基礎(chǔ)工業(yè)之一，覆蓋社會生產(chǎn)的各個領(lǐng)域，受益于國民生活，牽動著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展。特種氣體是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的，對氣體有特殊要求的純氣，高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。由于各單位都有不同的使用環(huán)境和方式，這些都會造成同一儀器使用的標(biāo)準(zhǔn)氣體的濃度略有差異，紐瑞德提醒您：一定要核實好自己儀器使用的組分和濃度哦，以免造成不必要的損失哦。特種氣體是泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)制造的關(guān)鍵電子材料，直接關(guān)系到我國民經(jīng)濟發(fā)展和國家戰(zhàn)略安全。根據(jù)氣體圈子2017年統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示，政府各部門多次出臺特種氣體鼓勵政策。2017年5月2日，科技部印發(fā)《“十三五”先進制造技術(shù)領(lǐng)域科技專項規(guī)劃》中關(guān)鍵材料部分提到面向45-28-14納米集成電路工藝，重點研發(fā)包括超高純電子氣體和其他關(guān)鍵材料產(chǎn)品。6月16日，特種氣體入選國家《重點新材料首批次應(yīng)用指導(dǎo)目錄（2017年版）》。9月12日，保監(jiān)會決定建立新材料首批次應(yīng)用保險補償機制并開展試點工作。將《重點新材料首批次應(yīng)用指導(dǎo)目錄》生產(chǎn)首批次新材料的企業(yè)作為保險補償政策的支持對象。原則上政府補貼的責(zé)任限額不超過合同金額的5倍、且不超過5億元，投保費率不超過3%。

高純氫氣（PH2）氫氣（H2）：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光（EP）低碳（316L）不銹鋼管，閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。此外，還有一種性質(zhì)極為不穩(wěn)定的氣體，加壓后需溶于溶劑中儲存在鋼瓶內(nèi)，這種氣體稱為溶解氣體。氬氣（Ar）：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光（EP）低碳（316L）不銹鋼管，閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。氦氣（He）：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光（EP）低碳（316L不銹鋼管）閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。

電子氣體的特點

電子氣體(Elect ron ic gases) ：半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。按其門類可分為純氣、高純4 _6 m p- _4氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類。2017年，我國工業(yè)新舊動能轉(zhuǎn)換成效初顯，工業(yè)生產(chǎn)超預(yù)期回升、產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)優(yōu)化升級、企業(yè)效益明顯改善。特殊材料氣體主要用于外延、摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合，可分為電子級、L S I (大規(guī)模集成電路) 級、VL S I (超大規(guī)模集成電路) 級和UL S I (特大規(guī)模集成電路)級。