關(guān)于實(shí)驗(yàn)室凈化設(shè)備：空調(diào)機(jī)內(nèi)部分類【山西東勝科星實(shí)驗(yàn)室設(shè)備有限公司】

加熱段：可采用熱水加熱、蒸汽加熱、電加熱等；電加熱采用不銹鋼光管制作，表面光滑無翅片，耐腐蝕，不易積灰，易清洗；

加濕段：可采用干蒸汽加濕或電極加濕，確保停機(jī)后加濕器內(nèi)無積水，消除加濕器內(nèi)細(xì)菌滋生的可能性；

滅菌性：可選用紫外線或臭氧發(fā)生器進(jìn)行滅菌，徹底破壞機(jī)組內(nèi)細(xì)菌的生存環(huán)境；

實(shí)驗(yàn)室凈化車間對濕度的控制有哪些要求【山西東勝科星實(shí)驗(yàn)室設(shè)備有限公司】

濕度控制是凈化車間生產(chǎn)必需具備的重要條件，相對濕度是凈化車間、潔凈室運(yùn)作過程中一個(gè)常用的環(huán)境控制條件。半導(dǎo)體凈化車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi)，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi)，例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。