真空設備檢漏

檢漏就是用一定的手段將示漏物質加到被檢設備或密封裝置器壁的一側，用儀器或某一方法在另一側懷疑有泄漏的地方檢測通過漏孔漏出的示漏物質，從而達到檢測的目的。真空設備檢漏與維修為什么要檢漏泄漏和密封相對應很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進或流出這個空間。檢漏的任務就是在制造、安裝、調試過程中，判斷漏與不漏、泄漏率的大小，找出漏孔的位置；在運轉使用過程中監(jiān)視系統(tǒng)可能發(fā)生的泄漏及其變化。

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聽音法

氣體從小孔中噴出時，會發(fā)出聲音。聲音的大小和頻率取決于泄漏率的大小、兩側的壓力、壓差和氣體的種類等。根據氣體漏出時發(fā)出的聲音判斷有無泄漏。

該方法的靈敏度很大程度上受環(huán)境的影響。若工廠噪音較大，則小的聲音就不易聽清。氫氣檢漏法的工藝和方法批量生產的用戶采用上述控制器進行示蹤氣體的充注，達到收到壓力后控制器會給出提示，這時操作人員即可進行檢漏操作，然后通過控制器把氣體排出。使用聽診qi，某種程度上可以消除周圍噪音的影響，聽清泄漏聲音，但有時與泄漏無關的聲音（例如電機的聲音）也會混雜進來，從而影響檢漏靈敏度。為了辨別較小的聲音，可用話筒和放大器將聲音放大。但此時其它聲音也同時放大，多數情況下較難收到好的效果。在檢測壓力為0.3MPa，周圍非常安靜的條件下，可以聽出5′10-2cm3/s的泄漏率的聲音。

這種方法既簡單、經濟。使用聽診qi，在某種程度上可以判斷出泄漏點。如單憑耳朵聽，往往因聲波的反射或吸收，很難確定泄漏點，即發(fā)聲地點。由于檢測環(huán)境條件不同，所得到的結果可能偏差很大。因此，這種方法的穩(wěn)定性和可靠性很差。應與其它檢測法并用。

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真空設備檢漏與維修

為什么要檢漏

泄漏和密封相對應

很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進或流出這個空間。如真空設備（真空鍍膜機，液晶注入機，PVD，半導體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時，空氣不能漏進工作腔體，否則生產不能進行，或者產生次品，浪費人力物力。如果有漏，后果嚴重，一般會造成有效物資的浪費，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至會釀成事故。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴重，一般會造成有效物資的浪費，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至會釀成事故。

這些對密封性有要求的產品或設備，在投入使用前，就要先進行檢漏，使用中也要定期進行檢漏檢查。

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一個真空系統(tǒng)，經相當長時間抽氣之后，仍然達不到預期的真空度，可能的原因有:抽氣情況不良，即抽氣系統(tǒng)本身的問題。放氣，即真空系統(tǒng)或容器內部存在氣體或氣源。漏氣，即真空系統(tǒng)或被抽容器存在漏孔或縫隙。這些對密封性有要求的產品或設備，在投入使用前，就要先進行檢漏，使用中也要定期進行檢漏檢查。至于漏氣是檢漏技術所要解決的問題，即準確檢出漏孔并加以修補。常規(guī)檢漏內容包括:用適當的方法判斷真空系統(tǒng)中漏氣問題是否存在。確定漏氣率。找出泄漏部位，以便修補堵漏。

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