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昆山光罩優(yōu)選企業(yè) 制版廠

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發(fā)布時間:2021-03-05 15:31  






公司產品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據客戶的構想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高質量掩膜版以及后期的代加工服務!

光刻掩模版通常用石英玻璃做為化學反應,選用方解石是因為其的近紫外線穿透率。掩模版遮光一部分用Cr,因此有時候也叫鉻板。選用燈的g線應i線,在于你常用的光刻膠,每個光刻膠產品介紹都是列舉其所比較敏感的納米段。 







尺寸漲縮原因分析


膠片在光繪前沒有經過預置

由于膠片制造時無法預先控制膠片中的濕度與每個生產車間的濕度一致,因此使用之前應先使其與工作環(huán)境達到平衡的狀況。建議預置時間為12小時,預置時必須打開膠片的內包裝,使其與外界的空氣充分接觸。








光學掩模板在薄膜、塑料或玻璃基體材料上制作各種功能圖形并,以便用于光致抗蝕劑涂層選擇性曝光的一種結構。掩膜版應用十分廣泛,在涉及光刻工藝的領域都需要使用掩膜版,如IC(Integrated Circuit,集成電路)、FPD(Flat Panel Display,平板顯示器)、PCB(Printed Circuit Boards,印刷電路板)、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems,微機電系統(tǒng))等。其工藝質量直接影響著器件成品率、可靠性、器件性能以及使用壽命等參數指標。






掩模板是根據放大了的原圖制備的帶有透明窗口的模板。例如,可以用平整的玻璃板,涂覆上金屬鉻薄膜,通過類似照相制版的方法制備而成。使用無掩模光刻機讀取版圖文件,對帶膠的空白掩膜版進行非接觸式曝光(曝光波長405nm),照射掩膜版上所需圖形區(qū)域,使該區(qū)域的光刻膠(通常為正膠)發(fā)生光化學反應經過顯影、定影后,曝光區(qū)域的光刻膠溶解脫落,暴露出下面的鉻層。具有微納圖形結構的掩模板通常使用電子束光刻機直接制備,其制作過程就是典型的光刻工藝過程,包括金屬各層沉積、涂膠、電子束光刻、顯影、鉻層腐蝕及去膠等過程。





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