KOAN 石英晶體微天平 QCM 和 和 QCM-D 與 與 MEMS 技術(shù)結(jié)合

MEMS 即微機(jī)電系統(tǒng)（Microelectro Mechanical Systems），是 MEMS 傳感器在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域。經(jīng)過四十多年的發(fā)展，已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一。它涉及電子、機(jī)械、材料、物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等多種學(xué)科與技術(shù)，具有廣闊的應(yīng)用前景。壓電的石英晶體傳感器用于凝血因子檢測具有使用方便、精度高和成本低等優(yōu)點，有廣闊的臨床應(yīng)用和推廣前景。

MEMS 傳感器是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器。與傳統(tǒng)的傳感器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實現(xiàn)智能化的特點。

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KOAN 晶振介紹 QCM 傳感器干擾因素排除經(jīng)驗

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QCM 石英晶體傳感器往往因為干擾因素使得數(shù)據(jù)失真，我們必須采取各種辦法減小干擾的影響。傳感器裝置的晶體基片設(shè)置一分離溝，用于降低相鄰電極間振動能的耦合。通過這種構(gòu)造，在分離溝內(nèi)衰減掉電極間振動能的漏泄，并且允許進(jìn)行穩(wěn)定的測量，同時縮短電極間距離。晶體基片具有電極形成部分比周邊部分還薄的結(jié)構(gòu)。在一般情況下，晶片機(jī)械振動的振幅和交變電場的振幅非常微小，但當(dāng)外加交變電壓的頻率為某一特定值時，振幅明顯加大，這種現(xiàn)象稱為壓電諧振。通過這種構(gòu)造，提高了基片的機(jī)械強(qiáng)度以確保其支撐，而且通過減小電極部分的厚度能夠把它用在高頻范圍。

傳感器裝置包括傳感器主體(其中應(yīng)用高頻薄晶體基片的電極形成部分比周邊部分的厚度還薄)，和由晶體基片或石英基片制成的基片支撐(其厚度小于傳感器裝置主體，并且其上粘結(jié)了傳感器裝置主體)。

QCM晶體

QCM晶體的主要功用是石英晶體微天平。它利用了石英晶體的壓電效應(yīng)，將石英晶體電極表面質(zhì)量變化轉(zhuǎn)化為石英晶體震蕩電路輸出電信號的頻率變化，進(jìn)而通過計算機(jī)等其它輔助設(shè)備獲得精度較高的數(shù)據(jù)。

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