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影響誠(chéng)薄機(jī)誠(chéng)薄硅片平整度的因素有哪些?
要保證硅片厚度的一致性。因?yàn)楫?dāng)研磨時(shí),由于磨料分布不均勻,使得行星齒輪片_上、下硅片研磨速度也會(huì)不一樣,所以要想保證硅片的減薄速度一樣,就必須在每研磨到一定時(shí)間時(shí)將行星齒輪片翻轉(zhuǎn)后再進(jìn)行研磨,從而確保硅片厚度的一致性,同時(shí)也讓硅片厚度公差得以縮小,具體要研磨多久才進(jìn)行翻車專為適當(dāng),是要根據(jù)減薄厚度和測(cè)試結(jié)果來定的。
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減薄機(jī)設(shè)備組成
北京凱碩恒盛科技有限公司主營(yíng)項(xiàng)目:雙面研磨機(jī),內(nèi)圓磨床,外圓磨床,減薄機(jī),軸承磨加設(shè)備,汽車零部件磨床,砂輪,刀具等。
減薄機(jī)本設(shè)備主要用于硅片、陶瓷、玻璃、石英晶體、藍(lán)寶石、其他半導(dǎo)體材料等非金屬和金屬的脆硬性材料精密零件的高速減薄。由工件吸盤,吸盤主軸及驅(qū)動(dòng)器組件,砂輪,砂輪主軸及驅(qū)動(dòng)組件,絲桿導(dǎo)軌進(jìn)給組件及其他輔助配件構(gòu)成。
硅片高速減薄機(jī)特點(diǎn)
硅片高速減薄機(jī)特點(diǎn):
1.可使工件加工厚度減薄到0.02mm厚而不會(huì)破碎。而且平行度與平面度可控制在±0.002mm范圍內(nèi)。
2.減薄,LED藍(lán)寶石襯底每分鐘可減薄48um。硅片每分鐘可減薄250um。
3.系列研磨機(jī)采用CNC程控系統(tǒng),觸摸屏操作面板。