無塵室的等級(jí)分類及應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)凈化實(shí)驗(yàn)室施工

其型式可分為二種：

無塵車間水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁的回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，埃隨風(fēng)向排出室外，一般下流側(cè)污染較嚴(yán)重。優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變穩(wěn)定。缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。

無塵車間垂直層流式：房間天花板完全用ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可獲得較高的潔凈度，在生產(chǎn)中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝獠⒉粫?huì)影響其它工作區(qū)域。

優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易受作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。

缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板的吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩。復(fù)合式(MixedType)：復(fù)合式是將亂流式及層流式予以復(fù)合并用，可提供局部超潔凈空氣。

無塵車間潔凈隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將生產(chǎn)區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員的工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)大都采用此種型式。

潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：彈性擴(kuò)充容易、維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。 次數(shù)用完API KEY 超過次數(shù)限制

凈化

潔凈實(shí)驗(yàn)室墻體圍護(hù)的標(biāo)準(zhǔn)

潔凈實(shí)驗(yàn)室的污染源一般主要是大氣中含塵、含菌、塵粒和微生物以及實(shí)驗(yàn)人員的發(fā)塵、實(shí)驗(yàn)設(shè)備和實(shí)驗(yàn)操作過程中的產(chǎn)塵等。因此建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)質(zhì)量和建筑施工方法對(duì)保持和提高潔凈實(shí)驗(yàn)室的標(biāo)準(zhǔn)具有重要意義。

潔凈實(shí)驗(yàn)室的外圍護(hù)結(jié)構(gòu)如門窗、墻板、吊頂板、過濾器、電器燈具等方面要充分考慮其保溫、隔熱、防火、防潮、密閉性能好的要求，做到不產(chǎn)塵、無裂痕、可擦洗、耐潮濕，板縫平齊密封，壓縫條平直縫隙小。地面則力求做到耐磨、耐沖擊、耐火、耐侵蝕性好，不易產(chǎn)生靜電，表面不易附著塵粒。

潔凈實(shí)驗(yàn)室的空氣凈化調(diào)節(jié)系統(tǒng)

一般情況下，5級(jí)、6級(jí)潔凈區(qū)控制溫度為20℃～24℃，相對(duì)濕度為45%～65%;7級(jí)、大于7級(jí)潔凈區(qū)控制溫度為18℃～28℃，相對(duì)濕度為50%～65%。對(duì)潔凈室溫、濕度無特殊要求時(shí)，溫度應(yīng)控制在18℃～26℃，相對(duì)濕度控制在45%～65%。

此外，空氣氣流速度、送風(fēng)量和新風(fēng)量要符合凈化室實(shí)驗(yàn)設(shè)施和人員的要求。因?yàn)閮艋瘜?shí)驗(yàn)室是一個(gè)相對(duì)獨(dú)立密閉的空間，在保持溫度、濕度、空氣流速流量的同時(shí)，還要采取措施補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓（或負(fù)壓）值所需的新鮮空氣量