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半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備
廢氣介紹:由于半導(dǎo)體工藝對(duì)操作室清潔度要求極高,通常使用風(fēng)機(jī)抽取工藝過(guò)程中揮發(fā)的各類廢氣,因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。廢氣排放也以揮發(fā)為主。這些廢氣主要可以分為四類:酸性廢氣、堿性廢氣、有機(jī)廢氣和有毒廢氣。
廢氣危害:半導(dǎo)體制造工藝中產(chǎn)生的廢氣如果沒(méi)有經(jīng)過(guò)很好的處理進(jìn)行排放,將造成嚴(yán)重的問(wèn)題,不僅影響人們的身體健康,惡化大氣環(huán)境,造成環(huán)境污染的公害事件等,也會(huì)成為半導(dǎo)體制造中AMC污染的重要來(lái)源。
廢氣處理設(shè)備處理方法:依據(jù)這些廢氣的特性,在處理上采用水洗、氧化/燃燒、吸附、解離、冷凝等方法,針對(duì)不同污染物,可采取以下綜合處理方法:1.一般排氣系統(tǒng) 2.酸性、堿性廢氣處理系統(tǒng) 3.有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)。
廢氣處理設(shè)備公司對(duì)除塵設(shè)備的行業(yè)發(fā)展概述,除塵技術(shù)的發(fā)展概況除塵技術(shù)的應(yīng)用發(fā)展與我國(guó)工業(yè)化進(jìn)程密切相關(guān)。除塵技術(shù)一般包括機(jī)械式除塵、濕式除塵、靜電除塵和袋式除塵。它主要是利用一些不容易進(jìn)行揮發(fā)的溶液對(duì)廢氣進(jìn)行吸收并且進(jìn)行分離的工作方法,對(duì)于這種設(shè)備可以進(jìn)行回收再利用,所以它具有環(huán)保的功能。機(jī)械式除塵是利用粉塵的重力沉降、慣性或離心力分離粉塵,,除塵效率低、阻力低、節(jié)省能源。濕式除塵是利用氣液接觸洗滌原理,將含塵氣體中的粉塵分離到液體中,以去除氣體中的粉塵。其除塵效率稍**機(jī)械式除塵,但易造成洗滌液體的二次污染。印刷廢氣處理設(shè)備