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凈化車間的潔凈度級別通常分為:百級、千級、萬級、十萬級和三十萬級。十萬級凈化車間一般適用于電子儀器儀表、計算機房、半導(dǎo)體廠、印刷廠、汽車工業(yè)、航天工業(yè)、光刻和微機制造等行業(yè)中。十萬級凈化車間的要求不僅僅是需要空氣潔凈度為十萬級,還需要保證能達到除靜電的效果。下面,來給大家介紹一下十萬級凈化車間的具體標準。
一、塵粒
塵粒是細菌、病毒的良好載體,所以十萬級凈化車間工程的首要任務(wù)便是"除塵"。
1.在十萬級凈化車間中,塵粒大允許數(shù)≥0.5微米的粒子數(shù)不允許超過350萬個;
2.≥5微米的粒子數(shù)不可以超過2萬個。
二、微生物
1.微生物跟塵粒一樣,也有大允許數(shù)。要求浮游菌數(shù)不超過500個/m3;
2.沉降菌數(shù)不超過10個/培養(yǎng)皿。
三、壓差
這里根據(jù)潔凈度等級分2種情況:
1.相同潔凈度等級的潔凈室,壓差需要保持一致;
2.不同潔凈等級的潔凈室,相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa,潔凈室與非潔凈室之間要≥10Pa(這里主要是為了保障空氣從潔凈區(qū)流向非潔凈區(qū),避免氣流倒灌)。
凈化車間微生物污染的控制
凈化車間微生物的污染控制是比較困難的,原因在于微生物的無處不在,因此需要嚴格的管理,并限制物流。良好的除塵、措施,例如:防塵服、防靜電設(shè)施等均是生物潔凈技術(shù)中十分重要的內(nèi)容。
凈化車間微生物污染的控制,從生物潔凈技術(shù)的角度而言,有四個原則:
千級凈化車間
1、對進入凈化車間的空氣充分地進行或滅菌(如用濾器、電子自凈氣、臭氧發(fā)生器等)。
2、使室內(nèi)微生物顆粒迅速而有效地吸收并排出室外(換氣次數(shù)及佳的進風(fēng)口與回風(fēng)口的設(shè)計)。
3、不讓室內(nèi)的微生物粒子集聚和衍生(氣流組織形式及合格的凈化裝修)。
4、防止進入室內(nèi)的人員或物品散發(fā)細菌,如不能防止,則應(yīng)盡量限制其擴散。
在上述原則中:1和4兩項與及滅菌的措施,操作及管理有關(guān)。而2和3兩項與室內(nèi)氣流組織換氣次數(shù)有關(guān)。良好的氣流組織可以使這兩項內(nèi)容得以完成。
電子凈化車間的設(shè)計要求
以芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵車間和磁盤制造車間為代表的電子工業(yè)工程凈化車間除了對微粒的嚴格控制外,還對溫濕度的控制、照度微震等要求更嚴格,同時還要預(yù)防消除靜電影響。下面,介紹電子凈化車間的設(shè)計要求。
電子凈化車間的溫、濕度應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定當生產(chǎn)工藝無具體要求時,其溫度可按20~26℃,相對濕度30%~70%采用。人員凈化用室和生活用室的溫度可按16~28℃采用。根據(jù)與國際ISO標注接軌的中國GB-50073,這類潔凈室的潔凈度等級1-9級,其中1-5級,氣流流型為單向流或混合流,風(fēng)速0.2-0.45m/s;6級氣流流型為非單向流,換氣次數(shù)50-60次/h;7級氣流流型為非單向流,換氣次數(shù)15-25次/h;8-9級氣流流型為非單向流,換氣次數(shù)10-15次/h。
10萬級無塵車間標準是什么?
10萬級無塵車間標準三:壓差。相同潔凈度等級的潔凈室壓差保持一致,對于不同潔凈等級的相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa,潔凈室與非潔凈室之間要≥10Pa。這主要是為了保障空氣從潔凈區(qū)流向非潔凈區(qū),避免氣流倒灌。
10萬級無塵車間標準四:溫濕度。溫度一般控制在冬季20~22℃;夏季 24~26℃;波動±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30-50%,夏季潔凈室濕度控制在50-70%。對溫度、濕度無特殊要求時,以穿著潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜。