復(fù)合式ULSI制程大都采用此種型式

復(fù)合式

此種方式是為了將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

1．裝局部潔凈車間：將潔凈車間等級10,000~100,000之亂流潔凈車間內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。

2．凈管道：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。

3．凈隧道：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：①彈性擴(kuò)充容易;②維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

機(jī)制板夾芯板機(jī)械制作,一次成型,中間填充巖棉、聚氨酯、泡沫等

機(jī)制板夾芯板

機(jī)制板機(jī)械制作，一次成型，中間填充巖棉、聚氨酯、泡沫等材料．兩側(cè)為雌雄口連接．廣泛應(yīng)用于工業(yè)凈化廠房的非承重內(nèi)墻面、屋面、吊頂及單層組合房屋的承重墻板，主要用于電子、半導(dǎo)體、、生物、食品等潔凈車間的凈化隔斷、吊頂。

紙蜂窩夾芯板

紙蜂窩潔凈夾芯復(fù)合板是一種新型的高科技的建筑材料,是傳統(tǒng)的巖棉,EPS,PU等傳統(tǒng)夾芯復(fù)合板的換代產(chǎn)品。產(chǎn)品性能:厚度 0.2mm~1.0mm 芯材厚度:50mm ~250mm 有效高度:1000mm、1200mm 適用范圍：車間、辦公室閣墻、鋼結(jié)構(gòu)房外墻 維護(hù)、裝飾建材、活動(dòng)房辦公樓等。

無塵室要按級別區(qū)別,沒有正壓的原因

要是沒有得話能夠選用戶外代過慮氣的大中型家用新風(fēng)系統(tǒng)，房間內(nèi)就能維持正壓。無塵室要按級別區(qū)別，級別是依據(jù)房間內(nèi)的清潔換風(fēng)來區(qū)別，依據(jù)房間內(nèi)尺寸及規(guī)定操縱離心風(fēng)機(jī)送排風(fēng)量及工作壓力，送風(fēng)尺寸及其補(bǔ)新風(fēng)系統(tǒng)都是有一定的規(guī)定測算。

沒有正壓的原因：1.正壓是表明凈化處理車間抑止根據(jù)窗門間隙環(huán)境污染室內(nèi)空氣質(zhì)量的工作能力，或在短期內(nèi)開啟窗門時(shí)使?jié)B透到房間內(nèi)的空氣污染物降低到少程度的工作能力，正壓尺寸表明抑止環(huán)境污染工作能力的高低，自然并不是正壓越大越好(后邊將提到)。2.正壓需要的排風(fēng)量比較有限，5Pa正壓與10Pa正壓所需排風(fēng)量僅差約1次/h，不妨一試呢?顯而易見正壓值低限取l0Pa更優(yōu)越些。3.美國規(guī)范(FS209A~B)要求:當(dāng)全部進(jìn)出口關(guān)掉時(shí)，凈化處理車間與一切鄰近的低潔凈度等級地區(qū)中間的少正壓差為0.05英尺水流(12.5Pa)，這標(biāo)值已被很多我國選用。

按潔凈室主要控制對象劃分

按潔凈室主要控制對象劃分潔凈室又可劃分為： ▲ 工業(yè)潔凈室 ▲ 生物潔凈室 一、工業(yè)潔凈室 1、工業(yè)潔凈室主要的控制對象是灰塵粒子（不分有生命的、無生命的）。 2、工業(yè)潔凈室主要應(yīng)用在電子、航天、航空、機(jī)械、化工、化學(xué)制藥、能源、納米等工業(yè)中。尤其是電子工業(yè)和光電子工業(yè)更是離不開潔凈室和潔凈技術(shù)。 二、生物潔凈室 1、生物潔凈室主要控制對象是有生命的、活的微生物粒子，如病菌、病毒等對人類、動(dòng)物、環(huán)境有害的粒子。 2、生物潔凈室廣泛地應(yīng)用在（潔凈手術(shù)室、潔凈病房）、生物制藥、實(shí)驗(yàn)動(dòng)物飼養(yǎng)、生物安全實(shí)驗(yàn)室、衛(wèi)生防疫檢疫的事業(yè)中。生物潔凈室的發(fā)展速度非常快，而且得到了各方的認(rèn)同和重視。