真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。噴射真空泵：它是利用文丘里（VENTURI）效應的壓力降生產(chǎn)的高速射流把氣體輸送到出口的一種動量傳輸泵，適于在粘滯留和過渡流狀態(tài)下工作。⑹正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強范圍760mmHg~25mmHg（絕壓），在這樣寬壓強范圍內，泵的抽速隨壓強而變化（詳細變化情況參照泵的性能曲線），其穩(wěn)定的工作壓強范圍為760~60mmHg。因而，泵的工作點應該選在這個范圍之內較為適宜，而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。

機械安裝：在連接管路中，用戶可在真空泵進氣口上方安裝閥門及真空計，隨時可檢查真空泵的極限壓力。按電動機標牌規(guī)定連接電源，并接地線和安裝合適規(guī)格的熔斷器及熱繼電器，真空泵通電試運轉時，須取下電機皮帶，確認真空泵轉向符合規(guī)定方向方可投入使用，以防真空泵反轉噴油。羅茨真空泵(RootsVacuumPump)是一種旋轉式變容真空泵，須有前級泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內，有較大的抽速，對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感。（轉向按防護罩指示方向），對于有冷卻水的真空泵，按規(guī)定接通冷卻水。如真空泵口安裝電磁閥時，閥與真空泵應同時動作。當真空泵排出氣體影響工作環(huán)境時，可在排氣口裝接管道引離或裝接油霧過濾器。

（4） 擴散噴射泵：它是一種有擴散泵特性的單級或多級噴嘴與具有噴射真空泵特性的單級或多級噴嘴串聯(lián)組成的一種動量傳輸泵。油增壓泵即屬于這種形式。（5） 離子傳輸泵：它是將被電離的氣體在電磁場或電場的作用下，輸送到出口的一種動量傳輸泵。

（1）蒸發(fā)離子泵：泵內被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華（或蒸發(fā)）而覆在泵內壁的吸氣材料上，以實現(xiàn)抽氣的一種真空泵。這種泵又可詳細地分成以下幾種：①液體噴射真空泵：以液體（通常為水）為工作介質的噴射真空泵。（2）濺射離子泵：泵內被電離的氣體吸附在由陰極連續(xù)濺射散出來的吸氣材料上，以實現(xiàn)抽氣目的的一種真空泵。低溫泵：利用低溫表面捕集氣體的真空泵

無油(耐腐蝕)立式往復真空泵是臥式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，是獲得粗真空的主要設備。由于采用全密封裝置，實現(xiàn)了曲軸箱和汽缸的完全隔離；加上活塞環(huán)使用了自潤滑材料，便實現(xiàn)了先進的無油潤滑。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。由于無污水排放，所以該型真空泵特別適用于化工、醫(yī)l藥和食品等行業(yè)的真空蒸餾、真空蒸發(fā)、真空干燥、真空濃縮、真空浸漬等工藝過程中。

高真空系滑閥式真空泵（Rotary Piston Vacuum Pump）廣泛應用于真空拉晶、真空鍍膜、真空冶金、真空熱處理、真空浸漬、真空干燥、真空蒸餾、真空練泥、航空航天模擬試驗等新材料、新技術、新工藝的生產(chǎn)與研制中。