真空泵

真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等，這些泵是我國國民經(jīng)濟各行業(yè)應用真空工藝過程中必不可少的主力泵種。近年來， 伴隨著我國經(jīng)濟持續(xù)高速發(fā)展，真空泵相關下游應用行業(yè)保持快速增長勢頭，同時在真空泵應用領域不斷拓展等因素的共同拉動下，我國真空泵行業(yè)實現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定地快速的發(fā)展。動量傳輸泵：這種泵是依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流，把動量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹凇?

羅茨泵與前級泵抽速之間的關系

羅茨泵的抽速與前級泵抽速之間的關系，主要取決于容積效率和羅茨泵許可的壓力差。如果容積效率低，則羅茨泵機組的有效抽速將會明顯下降。如果羅茨泵的壓力差超過許可的很大壓力差，由于壓縮功將使轉(zhuǎn)子過熱膨脹，而會被卡死。因為泵殼易于向周圍環(huán)境散熱，仍然是不太熱的。②渦輪分子泵：泵內(nèi)裝有帶槽的圓盤或帶葉片的轉(zhuǎn)子，它在定子圓盤（或定片）間旋轉(zhuǎn)。

羅次泵大允許壓差范圍在40-100hPa，在較高的壓力范圍（150hPa）時，允許的壓力差稍高，因為被抽氣體量多謝，改善了轉(zhuǎn)子的冷卻。由于壓差的增加，必將引起所需功率也要增加。

在羅茨泵的出口管道設置專用的氣體冷卻器，這時許可的很壓差可以增加，因為冷卻氣體的回流能保持轉(zhuǎn)子的溫度在規(guī)定的范圍內(nèi)。

在真空和高真空范圍內(nèi)，抽速比多采用10:1。在入口壓力有較大變化或前級壓力變小，則壓縮比降低，故抽速比多選擇5:1。

阿爾卡特干泵ADP/ADS系列

   ADP/ADS系列2產(chǎn)品的四種型號可滿足不同真空要求，環(huán)境清潔的工藝應用可選擇LM型，輕型或中型應用要求可選擇P型，H型可供苛刻要求的工藝環(huán)境選擇。許多來自半導體工業(yè)的主要制造商已經(jīng)選擇這一產(chǎn)品，這一選擇使他們大大縮短了計劃外停l工期，從而節(jié)約了運行成本，提高了利潤率。1、萊寶真空泵真空貼合機首l選Leybold萊寶真空泵真空貼合機首l選Leybold萊寶真空泵概述：真空貼合機又稱“OCA貼合機”或“觸摸屏貼合機”，英文“OCAlaminatingmachine”。

特點：

處理能力可靠性高寬交叉槽可容納大量粉塵和顆粒精l確而閉合的溫控系統(tǒng)、高操作溫度以及從進口到出口的氣體溫度的線性增長各級采取立式抽吸防止吹掃腔中粉塵聚集

水環(huán)真空泵原理與優(yōu)缺點分析

水環(huán)真空泵的原理：

　　泵體充滿適量的水作為工作流體。當葉輪沿圖中所示方向順時針旋轉(zhuǎn)時，水被葉輪甩出。由于離心力的作用，水形成了一個厚度大致相等的閉合環(huán)，這是由泵室的形狀決定的。水環(huán)的上部正好與葉輪輪轂相切，而水環(huán)的下部正好與葉尖接觸(實際上，葉片有一定的穿透深度)。此時，在葉輪輪轂和水環(huán)，之間形成一個新月形空間，該空間被葉輪分成幾個葉片數(shù)量相等的小腔。如果葉輪的上部是0作為起點，當葉輪旋轉(zhuǎn)180之前，小腔的體積由小變大，并與端面上的吸入口連通。這時，氣體被吸入，當吸入結束時，小腔從吸入口被阻塞。當葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時，小腔由大變小，氣體被壓縮;當小腔與排氣口連通時，氣體從泵中排出。主動軸傳遞的扭矩較大，軸要有足夠的強度和剛度，軸與轉(zhuǎn)子要固結牢靠。