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電子束蒸發(fā)鍍膜的優(yōu)勢(shì)
電子束蒸發(fā)的優(yōu)點(diǎn)在于:電子束的光斑可以隨意調(diào)整,可以一槍多用,燈絲可以隱藏,避免污染,可以蒸發(fā)任意鍍膜材料,維修方便,蒸發(fā)速度可以隨意控制,材料分解小,膜密度高。機(jī)械強(qiáng)度好。
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電子束鍍膜的濺射方式
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濺射方式是用高速正離子轟擊靶材表面,通過動(dòng)能傳輸,令靶材的分子(原子)有足夠的能量從靶材表面逸出,在產(chǎn)品表面凝聚形成薄膜。
用濺射的方法制鍍的薄膜附著性強(qiáng),薄膜的純度高,可以同時(shí)濺射多種不同成分的材料,但是對(duì)靶材的要求高,不能象電子槍一樣節(jié)約資源。
目前運(yùn)用較多的有磁控濺射,磁控濺射是指平行于陰極表面施加強(qiáng)電場(chǎng),將電子約束在陰極靶材表面附近,提高電離效率。它是操作比較簡(jiǎn)單的一種,所以運(yùn)用非常廣。