干式真空泵

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干式真空泵主要有下列幾種形式:

雙圓裂片式

雙圓裂片式設(shè)計和目前l(fā)iu行和廣泛應(yīng)用的羅茨泵非常相似。事實(shí)上，一些早期的干泵設(shè)計思想就是將羅茨泵疊加起來。這種多級設(shè)計使得氣體通路相當(dāng)復(fù)雜，并且每一級都需要較大流量的氮?dú)馄鸬较♂尯透綦x作用。同時，為了達(dá)到好的真空度，對各級的間隙有非常嚴(yán)格的要求。干式螺桿真空泵型號齊全，可適用大抽氣量工藝中，配合羅茨真空泵可以滿足不同客戶的需求。當(dāng)然，這種設(shè)計由于增加了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。

三葉圓裂片式

三葉圓裂片式設(shè)計和雙圓裂片式設(shè)計的原理完全相同，只是在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這兩種設(shè)計有著相同的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)。為了進(jìn)一步降低耗電量，在傳動部分有的廠家選用兩個直流馬達(dá)，但這也會導(dǎo)致扭矩減小，重新啟動的能力-下降。真空檢漏設(shè)備公司真空檢漏設(shè)備公司檢漏工作的實(shí)施只要正確的做好檢漏范圍的預(yù)判和正確連接好檢漏儀后就具備了檢漏的前提，應(yīng)當(dāng)按照如下步驟進(jìn)行查、檢漏工作：①正常啟動電弧爐真空系統(tǒng)，當(dāng)爐室達(dá)到穩(wěn)定的中真空度后，通常在10Pa以下，打開檢漏儀開始進(jìn)行工作。同雙圓裂片式設(shè)計一樣，三葉圓裂片式設(shè)計的每一級都需要較大流量的氮?dú)鈦砥鸬较♂尯透綦x作用。

組合式(羅茨 爪)

組合式(羅茨 爪)設(shè)計用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率，用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設(shè)計完全相同。也有些廠家將其后一級改為星型設(shè)計，這樣可以在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為五份，就像三圓裂片式設(shè)計可以將其分為三份。環(huán)境溫度：真空泵一般在不低于5℃的室溫及不高于90%的相對溫度的環(huán)境內(nèi)使用。同樣，在很多工藝中，組合式設(shè)計的每一級都需要較大流量的氮?dú)鈦砥鸬较♂尯透綦x作用。

外部壓縮型螺桿式

在外部壓縮型螺桿式設(shè)計中，使用一對等距螺桿。這使得內(nèi)部壓縮減到xiao，同時使得氣體通路短也簡單。這樣，氣體在泵體內(nèi)停留的時間也短。雖然這種設(shè)計由于減少了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對較高，但在很多復(fù)雜的半導(dǎo)體工藝中表現(xiàn)出極高的穩(wěn)定性。這種單級設(shè)計使得其對氮?dú)庥昧康囊笠卜浅Ｐ《液唵危@樣就使得其在不同工藝中有很好的互換性。為了使國產(chǎn)滑閥泵能夠進(jìn)入國際市場，必須進(jìn)一步降低泵的振動噪聲，杜絕噴油和漏油，提高滑閥泵長期運(yùn)行的可靠性。在很多清潔的工藝中甚至可以不用氮?dú)狻?

內(nèi)部壓縮型螺桿式

除了使用一對非等距螺桿以外，內(nèi)部壓縮型螺桿式設(shè)計和外部壓縮型螺桿式設(shè)計的基本原理非常相似。螺桿間容積的不斷減小使得其內(nèi)部產(chǎn)生壓縮。這種設(shè)計由于產(chǎn)生內(nèi)部壓縮而使得其耗電量降低到同多級泵相當(dāng)?shù)乃?。此時，排氣口可以從左或右兩個方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。但在很多工藝中，這種內(nèi)部壓縮同多級泵一樣，極易造成氣體在泵體內(nèi)的物理化學(xué)變化而產(chǎn)生固化或液化。

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旋片真空泵

深圳銳誠真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。主營產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標(biāo)真空設(shè)備，真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。在國外，液環(huán)泵的銷售額占全部真空泵市場的14%，僅次于干泵，由于液環(huán)泵大部分是鑄件，加工要求也不高，屬勞動密集型產(chǎn)品，所以國產(chǎn)液環(huán)泵在價格上有競爭優(yōu)勢，關(guān)鍵是要改進(jìn)設(shè)計，縮小體積，減輕重量，提高xiao率，降低能耗。

旋片真空泵主要由泵體(靜子)和轉(zhuǎn)子組成。在轉(zhuǎn)子槽中裝有兩塊以上的旋片，有些泵旋片間還裝有彈簧。轉(zhuǎn)子偏心地裝在泵腔內(nèi)，其外緣與泵腔頂部表面的間隙為2~3微米。轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時，在離心力等作用下,旋片沿槽作往復(fù)滑動并與泵腔內(nèi)壁始終保持接觸,將泵腔分成兩個或幾個可變?nèi)莘e的工作室。轉(zhuǎn)子順時針方向旋轉(zhuǎn)時,與吸氣口相通的吸氣腔容積由零逐漸增大,腔內(nèi)氣體壓力降低，被抽氣體便從吸氣口源源不斷地吸入。深圳銳誠真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。同時,與排氣口相通的排氣腔容積由大變小，吸入腔內(nèi)的氣體被壓縮，待氣體壓力高于大氣壓力時，推開排氣閥排出大氣。轉(zhuǎn)子連續(xù)轉(zhuǎn)動，泵便不斷抽氣。

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旋片真空泵

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深圳銳誠真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。主營產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標(biāo)真空設(shè)備，真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進(jìn)、排氣方向是相互垂直的。

故障分類建議把故障分為運(yùn)轉(zhuǎn)故障和性能故障。

運(yùn)轉(zhuǎn)故障可包括泵不轉(zhuǎn)，泵溫太高，漏油，漏水，等。

性能故障可包括極限壓力、極限全壓力、抽氣效率、噪聲、噴油，氣鎮(zhèn)性能等不達(dá)標(biāo)或不能滿足要求。折疊編輯本段故障判斷與診斷例舉1、泵不轉(zhuǎn)。情況不明不能先開泵，以免加重故障。用手能盤動和不能盤動。

A、泵能盤動而不轉(zhuǎn)。原因可以是聯(lián)軸器故障;皮帶打滑;電機(jī)接線有誤;電機(jī)損壞;電源沒電等。

B、不能盤動或盤起來很重的，原因可以是因?yàn)槠饎颖脺靥?，泵油粘度太?設(shè)計制造原因的停泵返油太多。油位太高引起的停泵返油太多(加油太多，或有水汽在泵中凝結(jié)，或在排氣管中凝結(jié)的水流回泵中);有異物在泵內(nèi)(進(jìn)氣管中的焊渣、氧化物;旋片彈簧等泵零件的碎屑);旋片變形卡住;發(fā)生了咬合(銅套、轉(zhuǎn)子、中壁、泵蓋、定子、軸承)。近年來，伴隨著我國經(jīng)濟(jì)持續(xù)高速發(fā)展，真空泵相關(guān)下游應(yīng)用行業(yè)保持快速增長勢頭，同時在真空泵應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓展等因素的共同拉動下，我國真空泵行業(yè)實(shí)現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定地發(fā)展。

2、泵溫太高。指低級排氣閥附近測得的gao油溫超過使用說明書規(guī)定值。由于泵溫升高會使泵油粘度大幅下降，并使用權(quán)泵油的飽和蒸汽壓升高，使泵的極限壓力升高和抽氣效率下降;使橡膠件容易老化;熱膨脹使運(yùn)轉(zhuǎn)的可靠性。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個到一個數(shù)量級。泵溫太高的原因可以是泵環(huán)境溫度太高，進(jìn)氣溫度太高，進(jìn)氣冷卻裝置失效，泵長期連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)入中壓力太高;水冷泵冷卻水量不足，循環(huán)水設(shè)計效果不佳;溫控水量調(diào)節(jié)閥失效等。

3、漏油?？梢园l(fā)生在軸封，油箱與泵零部件的密封面，放油塞、油標(biāo)、油孔悶頭、定子部件與支座的通孔連接處，氣鎮(zhèn)閥(例如2X-8)等部位。可由密封件老化，安裝不當(dāng)，損壞失效，表面不平整、有雜質(zhì)、粗糙和鑄件疏松等引起。水環(huán)泵初用作自吸水泵，而后逐漸用于石油、化工、機(jī)械、礦山、輕工、醫(yī)yao及食品等許多工業(yè)部門。如果停泵后返油，油會進(jìn)入氣鎮(zhèn)閥，不關(guān)氣鎮(zhèn)閥可能會漏油。

自制橡膠墊時，一定要用耐油橡膠，要按照原設(shè)計形狀，密封面太大時壓不緊會漏油。

4、漏水。可以發(fā)生在水管頭，水套悶蓋平面，放水孔螺塞，放水閥等處，水套鉆穿，鑄件缺陷，凍裂，也可能導(dǎo)致漏水。

5、da功率超標(biāo)?？捎砷L期連續(xù)工作入口壓力太高、排氣壓力太高、雜物進(jìn)入發(fā)生咬合、泵溫太高、旋片等配合間隙太小、電壓太高、泵液返入泵內(nèi)太多等引起，會使電機(jī)損壞。應(yīng)盡量避免在da功率附近長期連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。如果表面有沉積物，要定期拆開清除。

6、極限壓力不過標(biāo)?？捎赏饴?、內(nèi)漏、油孔堵塞、泵油質(zhì)量不良或污染變質(zhì)、有水汽等到可凝性物質(zhì)、儀器儀表失真、泵運(yùn)轉(zhuǎn)不正常等引起。

外漏較多時、排氣口可看白色蒸q。油標(biāo)處有較多氣泡，手在排氣口上感到排氣壓力。低級排氣閥處油面有較多氣泡。功率會有所增加。這時，首先應(yīng)檢查氣鎮(zhèn)閥是否已關(guān)好。由于新泵出廠每臺都在泵口測極限壓力，所以如有外漏現(xiàn)象，應(yīng)對泵口及管道、閥門、容器逐一檢查。外軸封失效、油杯無油、油孔悶頭漏氣也可造成外漏。主營產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標(biāo)真空設(shè)備，真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。內(nèi)漏可由泵內(nèi)的運(yùn)動間隙、排氣閥等平面、排氣閥的密封面、內(nèi)軸封、泵蓋平面、進(jìn)氣管、氣鎮(zhèn)閥密封件等引起磨損、腐蝕、咬合會使運(yùn)轉(zhuǎn)間隙加大。油孔阻塞時，打開加油孔聽，泵的噪聲會較輕，在油箱密封良好的情況下，如果手在排氣口上有被吸的感覺，排氣閥可能失效。

如果泵油清潔，長期存放未用，可開氣鎮(zhèn)閥凈化泵內(nèi)水汽。若無效，要檢查儀表。若泵油發(fā)黃發(fā)白已乳化，可全開氣鎮(zhèn)，調(diào)大氣鎮(zhèn)量凈化運(yùn)轉(zhuǎn)，必要時可在泵口放入適量氣體運(yùn)轉(zhuǎn)，可加快凈化過程。若抽入其他揮發(fā)性氣體或液體，要及時換油，必要時請洗油箱。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的，故可抽除氣體，此外還可抽除含塵、含水的氣體，因此，水環(huán)泵應(yīng)用日益增多。有些泵，在級間氣道里會沉積泵液，為取得好的換油效果，要設(shè)法把沉積泵液排出。

極限壓力是用座式壓縮式shui銀真空計測量的。用經(jīng)校準(zhǔn)的熱偶真空計等全壓力計測量時，測得值會增加。注意熱偶真空計的規(guī)管要配對校準(zhǔn)。建議備用一只同時校準(zhǔn)的規(guī)管，以備懷疑規(guī)管污染失真時進(jìn)行對比。

極限壓力升高會使高真空時段的抽氣效率下降，也會使極限全壓力升高?？梢詤⒄丈鲜鼋榻B來判斷、檢查、處理抽氣效率下降和極限全壓力升高的故障。

7、噪聲。泵的結(jié)構(gòu)設(shè)計，電機(jī)與泵軸承的噪聲，旋片等運(yùn)動件是否滑暢、進(jìn)油量太多、風(fēng)扇、傳動件產(chǎn)生的噪聲、進(jìn)氣量大，開氣鎮(zhèn)運(yùn)轉(zhuǎn)、擋油板等泵內(nèi)零件松動，安裝不平等引起振動，都會影響泵的噪聲。

8、噴油。防止噴油用的油盒回油孔的大小、位置、密封狀況，擋油板的設(shè)計、安裝，排氣口部分的減霧器、擋油帽、油氣分離器，油位的高低，進(jìn)油量的大小，都會影響泵的噴油，泵口敞開油大氣時，直聯(lián)泵排氣口的氣流速度可以高達(dá)30M/S，吹開油面時，泵內(nèi)的循環(huán)油和氣流帶出的油就將考驗(yàn)防止噴油的各項(xiàng)措施。市場增長的主要驅(qū)動力來自于半導(dǎo)體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應(yīng)用領(lǐng)域的日益擴(kuò)大。

9、其他，有些泵有油泵，有油分離器，有油路上的單向閥，有消霧器，有入口過濾器(防油蒸汽返流用)，有入口灰塵過濾器等部件或附件，也要進(jìn)行檢查。油泵失效將使泵的潤滑和密封失效，消霧器失效，有可能使排氣壓力升高，功率加大，損壞電機(jī)，入口過濾失效可使進(jìn)氣阻力增大，抽速下降，抽氣效率下降。同樣，在很多工藝中，組合式設(shè)計的每一級都需要較大流量的氮?dú)鈦砥鸬较♂尯透綦x作用。

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真空設(shè)備氦檢漏

深圳銳誠真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。主營產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標(biāo)真空設(shè)備，真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)?？捎糜陔娬婵掌骷圃?、保溫瓶制造、真空焊接、印刷、吸塑、制冷設(shè)備修理以及儀器儀表配套等。

氦質(zhì)譜檢漏儀基本原理簡介

氦質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度gao，用得普遍的檢漏儀器。

  氦質(zhì)譜檢漏儀是磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計。單級磁偏轉(zhuǎn)型儀器靈敏度為lO-9～10-12Pam3／s，廣泛地用于各種真空系統(tǒng)及零部件的檢漏。雙級串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型儀器與單級磁偏轉(zhuǎn)型儀器相比較，本底噪聲顯著減?。潇`敏度可達(dá)10-14～10-15Pam3／s，適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。如果蒸餾揮發(fā)性較大的有機(jī)rong劑時，有機(jī)rong劑會被油吸收結(jié)果增加了蒸氣壓，從而降低了抽空效能，如果是酸性氣體，那就會腐蝕油泵，如果是水蒸氣就會使油成乳濁液而抽壞真空泵。逆流氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級部位，因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質(zhì)譜室污染小等特點(diǎn)．適用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏，其靈敏度可達(dá)10-12Pam3／s。