高壓開關(guān)檢漏——氦質(zhì)譜檢漏儀

高壓電器行業(yè)提出的《生產(chǎn)63kv及以上GCB與GIS的必備條件》提出了產(chǎn)品符合技術(shù)條件和安全性。高壓開關(guān)設(shè)備使用SF6氣體作為絕緣滅弧的介質(zhì)，產(chǎn)品要求開關(guān)內(nèi)部的SF6氣體泄漏量要小，也就是要很好的密封性。所以再生產(chǎn)過程中就要對部件以及出廠整機做檢漏，高壓電器采用的氦質(zhì)譜檢漏儀的氦質(zhì)譜法比較方便，易操作，檢漏效果也得到認同。

鹵素檢漏儀檢漏是過去常用的方法，由于靈敏度低，難免發(fā)生泄漏和誤檢，使總裝后的產(chǎn)品氣密性達不到要求，導(dǎo)致返工，不但浪費了人力物力，也耽擱了生產(chǎn)周期。由于采用了氦質(zhì)譜檢漏儀彌補了傳統(tǒng)檢漏的不做，同時可以檢漏漏點和漏率。

氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方法根據(jù)被檢工件的情況而定的：

1.對于容積較小的部件，如波紋管、各種充氣接頭和氣管焊接件等，采用氦罩法被檢工件抽空，檢漏儀調(diào)到漏率（10-11Pa.m3/s），然后對氦罩沖氦，同時觀察漏率顯示，一大增大，就說明工件不合格。

2.對于體積較大的工件，采用背壓發(fā)，按照工件體積的大小試用不同大小的檢漏罐。通常把被檢工件沖入0.6MPa的純氦或氦（含量30%）-氮混合氣體，然后放入檢漏罐中。先用輔助抽空系統(tǒng)抽至5Pa以下，關(guān)掉抽氣閥，打開檢漏閥，進行檢漏。漏率超過值即為不合格。

3.對于分裝或總裝，采用吸入法。被檢工件沖入氦-氮混合氣體，利用吸槍在被檢工件裝配面或疑是漏點進行找漏。檢漏儀顯示數(shù)值超過規(guī)定值即為有漏。

安徽諾益科技有限公司是一家專業(yè)從事氦質(zhì)譜檢漏儀、氦檢漏真空箱及回收系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售為一體的專業(yè)型高科技企業(yè)。自成立以來嚴(yán)格執(zhí)行產(chǎn)品國際標(biāo)準(zhǔn)、及行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，應(yīng)用現(xiàn)代經(jīng)營理念與管理手段，擁有強大的技術(shù)支持和先進的生產(chǎn)與檢測設(shè)備，精心制造出穩(wěn)定性好、效率快和功能齊全的NOY品牌高精儀器產(chǎn)品。

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氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)勢

科技信息化不斷更新迭代的市場，氦質(zhì)譜檢漏儀的應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和完善。一方面過去的氦質(zhì)譜檢漏儀不能滿足現(xiàn)階段的一個需求，而且對檢漏儀提出新要求的情況下，檢漏儀設(shè)備使更新，另一方面每個行業(yè)的不足都在進步的過程，缺陷與不足相互補充，相互促進。而現(xiàn)在的氦質(zhì)譜檢漏儀早已告別了四五十年代的初期情形，在性能和領(lǐng)域上都有新的突破。

氦質(zhì)譜檢漏儀從以往的單方面領(lǐng)域的應(yīng)用到現(xiàn)在多領(lǐng)域的應(yīng)用，如：航空航天高科技工業(yè)、電力行業(yè)、電子行業(yè)、真空儀器儀表行業(yè)、核工業(yè)、制冷行業(yè)、不銹鋼保溫器皿等。其實氦質(zhì)譜檢漏儀的領(lǐng)域應(yīng)用廣發(fā)也是代表科技的一大進步，常見的氦質(zhì)譜檢漏儀檢測儀方法有漏點型、漏率型兩種。

氦質(zhì)譜檢漏儀適用于元件檢漏的要求，靈活性測試，高靈敏度，快速啟動，移動性和系統(tǒng)的可靠性。

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氦質(zhì)譜檢漏儀的日常保養(yǎng)與維護

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質(zhì)譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應(yīng)速度快、定位定量準(zhǔn)確等優(yōu)點而被廣泛應(yīng)用，但是在長時間的使用過程中常常會出現(xiàn)一些故障和現(xiàn)象，從而影響設(shè)備的正常使用。

檢漏儀的故障和處理

1 內(nèi)部的泄漏

當(dāng)檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時，會對檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標(biāo)準(zhǔn)漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點，更換密封件。

2 本底信號不穩(wěn)定

1）本底信號過高有可能是環(huán)境本底被污染，注意檢查室內(nèi)是否有氦氣源在泄漏。將室內(nèi)的門窗打開通風(fēng)，降低環(huán)境本底。

2）本底信號過高也有可能是因為質(zhì)譜室被污染。檢漏儀若經(jīng)常檢測含有油污、粉塵等雜質(zhì)較多的被檢件時，質(zhì)譜室極易被污染，需返廠進行清洗，本底信號不穩(wěn)定，檢查電源電壓是否穩(wěn)定，檢漏儀應(yīng)有可靠的接地。

3）本底信號不穩(wěn)定，檢查泵油是否渾濁，被污染。

3 設(shè)備的分子泵不啟動

分子泵不啟動，主要有檢查供電和前級真空是否正常（較常見的是前級真空機械泵故障或沒有打開造成的分子泵無法啟動）?；蛘呤欠肿颖帽旧硪蛘駝雍头蹓m污染造成的損壞。

4 設(shè)備的質(zhì)譜室不能正常工作

質(zhì)譜室主要是燈絲無法正常加電，在確認機械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后，若燈絲仍無法發(fā)射離子流，則需要更換離子源。

5 前級機械泵工作不正常

主要經(jīng)常觀察泵油的顏色是否正常，粉塵的污染會使油色變黑，水汽會使油色呈現(xiàn)乳白色，都將導(dǎo)致機械泵工作不正常。另外過低的溫度會使機械泵油粘稠度增加無法啟動，過高的溫度也會使機械泵產(chǎn)生熱保停止工作，使用機械泵的環(huán)境溫度在 10至 40之間使用。

質(zhì)譜法基本原理

質(zhì)譜,又稱質(zhì)譜法（mass spectrometry,MS），是通過不同的離子化方式，將試樣（原子或分子）轉(zhuǎn)化為運動的氣態(tài)離子，并按照質(zhì)荷比（m/z）大小進行分離檢測的分析方法，是一種與光譜并列的譜學(xué)方法。根據(jù)質(zhì)譜圖上峰的位置和相對強度大小，質(zhì)譜可對無機物、有機物和生物大分子進行定性和定量分析。Thomson JJ于1906年發(fā)明質(zhì)譜，并運用于發(fā)現(xiàn)非性同位素和無機元素分析。20世紀(jì)40年代以后開始用于有機物分析。Thomson JJ于1906年發(fā)明質(zhì)譜，并運用于發(fā)現(xiàn)非性同位素和無機元素分析。20世紀(jì)40年代以后開始用于有機物分析。80年代初期，快原子轟擊電離的應(yīng)用，是質(zhì)譜更好的運用于生物化學(xué)大分子。90年代以來，隨著電噴霧電離和基質(zhì)輔助激光解吸電離的應(yīng)用，已形成生物質(zhì)譜學(xué)一新學(xué)科[1]。目前，質(zhì)譜法已經(jīng)日益廣泛的應(yīng)用于原子能、化學(xué)、電子、冶金、、食品、陶瓷等工業(yè)生產(chǎn)部門，農(nóng)業(yè)科學(xué)研究部門，以及物理、電子與離子物理、同位素地質(zhì)學(xué)、有機化學(xué)等科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域[2]。

質(zhì)譜法的基本原理是試樣分子或原子在離子源中發(fā)生電離，生成各種類型帶電粒子或離子，經(jīng)加速電場的作用獲得動能形成離子束；進入質(zhì)量分析儀，在其中再利用帶電粒子在電場或磁場中運動軌跡的差異，將不同質(zhì)荷比的離子按空間位置或時間的不同而分離開；然后到達離子將離子流轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?，得到質(zhì)譜圖。

質(zhì)譜儀基本結(jié)構(gòu)，化合物的質(zhì)譜是由質(zhì)譜儀測得的。質(zhì)譜儀是使分析試樣離子化并按質(zhì)荷比大小進行分離、檢測和記錄的儀器。一般質(zhì)譜儀由進樣系統(tǒng)，離子源，質(zhì)量分析儀，離子及信號放大記錄系統(tǒng)組成

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