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淄博齊韻泵業(yè)科技有限公司技術(shù)力量雄厚、制造設(shè)備精良,并有完善的質(zhì)量管理體系,可為用戶設(shè)計、制造不同類型的真空泵、水泵及設(shè)備機組。
水環(huán)泵用作自吸水泵,在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過程中,如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等,水環(huán)泵得到廣泛的應(yīng)用。由于真空應(yīng)用技術(shù)的飛躍發(fā)展,水環(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的,故可抽除、的氣體,此外還可抽除含塵、含水的氣體,因此,水環(huán)泵應(yīng)用日益增多。
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有效稀釋有害氣體的濃度:
半導(dǎo)體易產(chǎn)生前面所說的、有毒的有害氣體。所以半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中在抽取這些介質(zhì)時就必須防止它們在真空泵內(nèi)或者排氣過程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質(zhì),在與空氣或氧接觸的時候,會引起燃燒甚至;氫氣在空氣中的混合比例達到一定程度與溫度時也會發(fā)生燃燒。這些都取決于該物質(zhì)的量以及與環(huán)境的壓力、溫度的關(guān)系。因此半導(dǎo)體真空泵在抽取這些介質(zhì)時,需要用氮氣之類的惰性氣體,在壓縮前即將這些氣體稀釋到當(dāng)時條件下的安全范圍?! ?/span>
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1、確認(rèn)泵電機已送電,水環(huán)式真空泵具備開機條件,聯(lián)系相關(guān)崗位操作員,確認(rèn)泵不轉(zhuǎn),盤車均勻靈活,打開泵入口閥打開1/3閥位,啟動電動機,啟動電機后立即將泵體注水線上的閥門、密封液閥打開,使得泵體與汽水分離器內(nèi)的水達到平衡狀態(tài),但大家注意,若出現(xiàn)下列情況立即停泵:異常泄漏,異常振動,異常聲音,異味,火花,煙氣,電流持續(xù)不下。
2、調(diào)節(jié)泵進出口閥,確認(rèn)泵入口真空度在0.08-0.02Mpa之間,出口流量正常,電動機電流在正常范圍內(nèi),調(diào)整泵流量,聯(lián)系相關(guān)崗位操作員,確認(rèn)泵進出口壓力穩(wěn)定。
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