凈化工程在清洗方面注意事項:一般來說，凈化工程低于乳膠級別的手套不適合再生清洗，一是材質限制，二是成本考慮，如PVC手套，材質比較粘，清洗不易展開，烘干溫度也不易控制，而且清洗成本高于新手套，故不推薦，相比較乳膠手套來說，手套再生清洗的更高，由于腈才質具有很強的高磨損性，高穿孔性及好的拉伸強度，可以反復清洗和使用多次。

人員和工藝所產生的懸浮污染可立即被這種空氣清除掉，而紊流通風系統(tǒng)采用的是混合與稀釋原理。在一間沒有任何障礙物的空房間，單向流用比前面提到的低得多的風速，就可以很快將污染物清除。但在一個操作間，機器以及機器周圍走動的人員，會對氣流形成障礙。障礙物可以使單向流變成紊流，從而在障礙物周圍形成氣流團。人員的活動也可以使單向流變成紊流。在這些紊流中，由于風速較低，空氣稀釋程度較小，從而使得污染濃度較高。因此，必須將風速保持在0.3米/秒至0.5米/秒(60英尺/分鐘至100英尺/分鐘)的范圍里，以便使中斷的單向流能快速恢復，充分稀釋障礙物周圍紊流區(qū)的污染。

潔凈室中的溫濕度控制

相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面難以清除。相對濕度越高,粘附的越難去掉，但當相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產佳濕度范圍為35-45%。對于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。