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石英撓性加速度計(jì)的高精度信號(hào)處理是基于力矩平衡原理、采用伺服回路實(shí)現(xiàn),伺服回路的性能是制約石英撓性加速度計(jì)性能提高的關(guān)鍵因素之一。 現(xiàn)有技術(shù)方案中,混合集成式模擬伺服回路因集成電路工藝問(wèn)題,精度較低;分立元件式伺服回路集成度低,傳輸電容信號(hào)、極易受寄生電容影響,實(shí)用性較低。石英撓性加速度計(jì)主要有4個(gè)分類,分別是SRJ-1、SRJ-2、SRJ-3和SRJ-4等,產(chǎn)品具有量程較大,穩(wěn)定性能好,精度高,氣密性能好的特點(diǎn),主要應(yīng)用在慣性導(dǎo)航系統(tǒng),平臺(tái)慣導(dǎo)系統(tǒng),并在航空、航天、艦船、慣性測(cè)量和制導(dǎo)等行業(yè)。
石英撓性加速度計(jì)按其應(yīng)用分為:船用,航空航天用,車載等。三軸石英擾性加速度傳感器批發(fā)選用撓性支承技術(shù)所以稱為石英撓性加速度計(jì),且其結(jié)構(gòu)與工藝大大簡(jiǎn)化,這種石英撓性加速度計(jì)已廣泛運(yùn)用于各類現(xiàn)代慣性系統(tǒng)中。三軸石英擾性加速度傳感器批發(fā)的性能指標(biāo):測(cè)量精度高,重復(fù)性佳,可靠性高體積小,重量輕寬壓供電,功耗低。三軸石英擾性加速度傳感器批發(fā)裝置在運(yùn)動(dòng)物體內(nèi)直接測(cè)量其加速度,進(jìn)而得到速度和方位,其測(cè)量精度高,動(dòng)態(tài)功能好,遠(yuǎn)比空速度計(jì)、里程計(jì)好得多。
石英撓性加速度計(jì)屬于單軸重力加速度計(jì),其特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,體積小,精度和靈敏度高、可靠性高等。 石英撓性加速度計(jì)的工作原理是慣性質(zhì)量受到外界加速度時(shí),相對(duì)位置發(fā)生輕微偏移,引起差動(dòng)電容極板距離的變化導(dǎo)致差動(dòng)電,三軸石英擾性加速度傳感器批發(fā)是一種檢測(cè)差動(dòng)電容的用伺服電路,同石英電容傳感器配接在一起,構(gòu)成一個(gè)完整石英撓性加速度計(jì)。 加速度計(jì)廣泛用于慣導(dǎo)系統(tǒng)中,測(cè)量運(yùn)動(dòng)載體的加速度、速度、位置傾角等。該器件采用厚膜混合集成電路工藝技術(shù)制成,主要特點(diǎn)是密封性高、溫度范圍寬、低功耗、體積小、重量輕、可靠性高和無(wú)外接元件。