氦質(zhì)譜檢漏儀

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主要技術(shù)指標(biāo)

1. 可檢漏率：5×10-13Pa·m3/s

2. 漏率顯示范圍：1×10-3—1×10-13Pa·m3/s

3. 啟動(dòng)時(shí)間：≤3min

4. 響應(yīng)時(shí)間：≤1.0s

5. 檢漏口的壓力：1000Pa

6. 電源要求：220v，50Hz，單相，10A

7. 機(jī)械泵抽速：4L/S

8. 工作環(huán)境：5-40℃

9. 相對(duì)濕度：≤80%

10. 外形尺寸：600(W)×550(D)×1000(H)

11. 重量：65kg

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氦質(zhì)譜檢漏儀逆擴(kuò)散原理

電子元器件進(jìn)密性檢測(cè)時(shí)常用背壓法。檢漏前用專用加壓容器向被檢件壓入氦氣(由壓力和時(shí)間控制壓入的量)，然后取出被檢件，吹去表面吸附氦后放入專用檢漏罐中，再將檢漏罐聯(lián)接到檢漏儀的檢漏口上，對(duì)檢漏罐抽真空，實(shí)施檢漏。若器件有漏，則通過(guò)該漏孔壓人的氦氣又釋放出來(lái)進(jìn)入檢漏罐，終到達(dá)質(zhì)譜管。用這種方法測(cè)得的漏率也是總漏率

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對(duì)子漏氣速率和放氣速率較大或者體積較大的被檢件，若直接與檢漏儀相連，氦質(zhì)譜檢漏儀的真空度可能抽不上去，使氦質(zhì)譜檢漏儀無(wú)法工作。此種情況須加接輔助真空系統(tǒng)，提高對(duì)被檢件的抽速。的輔助真空系統(tǒng)只需一個(gè)機(jī)械泵和兩個(gè)閥門，復(fù)雜的系統(tǒng)可由前級(jí)泵、次級(jí)泵、閥門、真空規(guī)及標(biāo)準(zhǔn)漏孔等組成。次級(jí)泵可用擴(kuò)散系或羅茨泵，前級(jí)系氣鎮(zhèn)式機(jī)械泵。

氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量（在空氣中約含5.2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因?yàn)楸镜仔?，由某些原因引起本底的波?dòng)，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應(yīng)出來(lái)，靈敏度高。氦的質(zhì)量?。ㄏ鄬?duì)分子質(zhì)量為4），易于穿過(guò)漏孔。