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應(yīng)用范圍
根據(jù)設(shè)計(jì),SOGEVAC泵可用來(lái)抽空穩(wěn)定氣體,其工作范圍為從大氣壓到泵極限真空之間的粗真空范圍。
警告
SOGEVAC泵不能抽空侵蝕性、腐蝕性的、或氣體。
若存在有侵蝕性的,的,腐蝕的或氣體,請(qǐng)與LEYBOLD公司聯(lián)系。
根據(jù)設(shè)計(jì),這些泵不能在或環(huán)境下工作。 若有問(wèn)題,請(qǐng)與LEYBOLD公司聯(lián)系。
當(dāng)心
泵不適合抽空液體或含有灰塵的介質(zhì)。必須引入相應(yīng)防護(hù)措施。
如有問(wèn)題,請(qǐng)與LEYBOLD公司聯(lián)系。
在抽空氧含量高于大氣(>20%)的氣體或其它高活性氣體之前,泵必須改型,除油,然后必須使用特殊油(例如PFPE)。
采取相應(yīng)安全措施。
請(qǐng)與LEYBOLD聯(lián)系以獲取有關(guān)重要的安全說(shuō)明書(shū)。
1.2 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
處于備用狀態(tài)的泵,電機(jī)隨泵一起提供。隨泵一起提供的還有GS77或等同的油已注入泵內(nèi)。
連接口由塑料保護(hù)蓋封住。在啟動(dòng)泵之前要去除這些塑料保護(hù)蓋。
萊寶真空泵維修技術(shù)參數(shù),首先要了解萊寶真空泵的類型、特點(diǎn)、現(xiàn)在狀況。了解使用要求,確定修理目標(biāo)。在進(jìn)行維修之前,準(zhǔn)備好檢測(cè)手段。判斷真空泵故障,確診故障。判斷準(zhǔn),可省事。確診要驗(yàn)證。排除油泵故障,先簡(jiǎn)后繁,先易后難。萊寶旋片真空泵經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期的使用工作后,真空泵會(huì)出現(xiàn)以下問(wèn)題:1。無(wú)須拆卸的不拆。以減少由于缺少專用工具和操作不當(dāng)引起新的損傷,減少位置變化和運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間。一般的說(shuō),拼接式轉(zhuǎn)子是不可拆卸的,否則形位公差就不保,轉(zhuǎn)子就報(bào)廢了。有毒有害、有腐蝕性的真空泵,應(yīng)請(qǐng)用戶清洗,并告知必要的防護(hù)措施,以保障維修人員的健康。
建議把故障分為運(yùn)轉(zhuǎn)故障和性能故障,運(yùn)轉(zhuǎn)故障可包括泵不轉(zhuǎn),泵溫太高,漏油,漏水,大功率超標(biāo)等。性能故障可包括極限壓力、極限全壓力、抽氣效率、噪聲、噴油、氣鎮(zhèn)性能等不達(dá)標(biāo)或不能滿足要求。故障判斷與診斷例舉,情況不明不能先開(kāi)泵,以免加重故障。用手能盤(pán)動(dòng)和不能盤(pán)動(dòng)。真空泵泵能盤(pán)動(dòng)而不轉(zhuǎn)。原因可以是聯(lián)軸器故障;皮帶打滑;適用于廣泛應(yīng)用的靈活系統(tǒng)LEYBOLDOPTICSCCS系列提供適用于每種需求選配組件陣列。電機(jī)接線有誤;電機(jī)損壞;電源沒(méi)電等。不能盤(pán)動(dòng)或盤(pán)起來(lái)很重的,原因可以是因?yàn)槠饎?dòng)泵溫太低,泵油粘度太高;設(shè)計(jì)制造原因的停泵返油太多。油位太高引起的停泵返油太多(加油太多,或有水汽在泵中凝結(jié),或在排氣管中凝結(jié)的水流回泵中);有異物在泵內(nèi)(進(jìn)氣管中的焊渣、氧化物;旋片彈簧等泵零件的碎屑;旋片變形卡?。话l(fā)生了咬合(銅套、轉(zhuǎn)子、中壁、泵蓋、定子、軸承)。
近年來(lái), 受半導(dǎo)體制造、液晶注入、太陽(yáng)能電池生產(chǎn)、電子器件等新興行業(yè)和薄膜制備、化工、制藥等傳統(tǒng)行業(yè)的帶動(dòng), 多級(jí)羅茨干泵作為核心裝備之一, 其研制和生產(chǎn)越來(lái)越受到重視。多級(jí)羅茨干泵滿足了IC 裝備制造業(yè)的工作溫度高、長(zhǎng)期運(yùn)轉(zhuǎn)穩(wěn)定、噪聲低、維護(hù)簡(jiǎn)單、清潔無(wú)油等眾多要求, 是很有發(fā)展前景的一種干式真空泵。7有氣鎮(zhèn)下水蒸汽容限(標(biāo)準(zhǔn))1)mbar40503040有氣鎮(zhèn)下水蒸汽容許負(fù)載kg。但是, 除了加工及裝配要求精度高、加工難度大、一次性投入昂貴等制約因素外, 其設(shè)計(jì)理論和制造工藝亟待提高, 尤其包括羅茨型線的改善、加工成本的降低、間隙的確定、泄漏量的計(jì)算、泵內(nèi)的熱力學(xué)分析、轉(zhuǎn)子表面涂層、噪聲振動(dòng)等難點(diǎn)問(wèn)題, 制約了多級(jí)羅茨干泵研制和生產(chǎn)。
旋片真空泵廠商
冒煙和噴油:指旋片泵在運(yùn)轉(zhuǎn)中排氣口冒煙或者噴油。
1、冒煙,如果是泵剛剛開(kāi)始運(yùn)轉(zhuǎn)有冒煙的現(xiàn)象,屬于正常,如果長(zhǎng)時(shí)間在冒煙就是不正常了。解決之道:冒煙說(shuō)明泵的進(jìn)氣口外,包括管道、閥門(mén)、容器有修理的情況。檢漏以后處理了,冒煙會(huì)結(jié)束。渦街流量計(jì)
2、噴油,說(shuō)明進(jìn)氣口外有大量的漏點(diǎn),甚至是進(jìn)氣暴露大氣。解決之道:封住泵的進(jìn)氣口使泵運(yùn)轉(zhuǎn),如果不噴油的話,說(shuō)明有漏點(diǎn);排氣閥片損壞,檢查排氣閥片是否損壞,更換壞的排氣閥片。