愛德華真空泵維修經(jīng)過長期工作后經(jīng)常會出現(xiàn)的問題就是漏油，關(guān)于這個問題怎么維修呢？我們要先了解出現(xiàn)故障的原因：1.真空系統(tǒng)或進(jìn)氣管路讀書或泄露

2.真空泵油被污染或變質(zhì)

3.排氣過濾器堵塞

4.進(jìn)氣過濾器或進(jìn)氣濾網(wǎng)堵塞

5.吸氣閥被污物卡死

6.進(jìn)氣或排氣管道過長或管徑太小

7.油管泄漏或損壞

8.密封圈或軸封泄漏

9.排氣閥損壞或卡死

10.葉片卡死或損壞

11.轉(zhuǎn)子和泵體的間隙不對

12.真空泵內(nèi)部零件損壞愛德華E2M80真空泵

化學(xué)氣相沉淀化學(xué)氣相沉淀 (CVD) 系統(tǒng)具有 多種配置用于沉積多種類型的薄膜。目前開發(fā)的產(chǎn)品通過將控制器集成到泵本身中來降低總成本和占地面積，不再需要外部控制器和控制器與泵之間的沉重控制電纜。制程 還以不同的壓力和流量狀態(tài)運(yùn)行，其中的許多狀態(tài) 都使用含氟的干燥清潔制程。所有這些可變因素意味著您 需要咨詢我們的應(yīng)用工程師之一來選擇適當(dāng)?shù)谋?和氣體減排系統(tǒng)以便大程度地延長我們產(chǎn)品的維修間隔并 延長您制程的正常運(yùn)行時間。

干泵選擇

CVD 制程通常需要通過選擇適當(dāng)?shù)?干泵產(chǎn)品來克服四個特定挑戰(zhàn)。這些挑戰(zhàn)是：

粉末

許多制程會產(chǎn)生 大量粉末副產(chǎn)品。所有居于地位的制程工具OEM，以及全球每一家主要半導(dǎo)體工廠都采用了我們的系統(tǒng)，因?yàn)樗鼈兡軌驖M足成熟制程與發(fā)展中制程的具體要求。需要將真空泵設(shè)計(jì)成 能夠處理這些粉末而不被卡住。在某些情況下，粉末實(shí)際上可能 很粘或需要高溫運(yùn)行才能確保粉末中夾帶的其他 副產(chǎn)品不在泵內(nèi)部冷凝并卡住泵機(jī)構(gòu)。 對于幾乎所有產(chǎn)生粉末的制程，您將不得不使用 采用高扭矩電機(jī)的泵，以確保泵在應(yīng)力下保持 旋轉(zhuǎn)。

冷凝

半導(dǎo)體 制程的某些副產(chǎn)品含有氣體，當(dāng)氣體分壓 增加或與冷表面接觸時，這些氣體會從氣 相變?yōu)楣滔?。在泵送這些副產(chǎn)品時， 您將需要非常熱的泵，是從入口到出口 具有盡可能一致的溫度分布的泵。

腐蝕

有些制程 需要泵送鹵化物。愛德華iH系列真空泵維修EdwardiHseriesvacuumpumprepair維修型號：iH80、iH600、iH1000等愛德華是半導(dǎo)體和平板顯示器工藝方面的供應(yīng)商，集工藝實(shí)現(xiàn)技術(shù)，材料和服務(wù)于一體。尤其是需要含氟的清潔制程來 保持艙室的清潔性，但被激的氟自由基 可能會侵蝕泵的內(nèi)表面。如果制程主要使用 可能對泵造成腐蝕的化學(xué)品，您需要確?？梢?將泵溫度設(shè)置為一個較低值以降低腐蝕風(fēng)險。我們的泵設(shè)計(jì) 具有可選的溫度設(shè)和高旋轉(zhuǎn) 速度以降低腐蝕風(fēng)險并降低泵中不可避免 發(fā)生的總體材料損失速率。對于某些 CVD 制程，需要在溫度設(shè)上 達(dá)到平衡，以確保避免任何冷凝問題， 同時不使腐蝕速度過高。

愛德華真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。

Edward真空泵油概述：  提供一系列新型油：Ultragrade? 15、19、20 和 70，均采用制程生產(chǎn)。惠州市明勝機(jī)電設(shè)備有限公司制造銷售各種真空泵，并提各類真空泵維修保養(yǎng)服務(wù)（羅茨，螺桿，旋片式，干式，水環(huán)式等真空泵維修保養(yǎng)）以及各類進(jìn)口真空泵配件耗材。大多數(shù)制造商都采用溶劑精煉制程，而這些油則采用獨(dú)特的濕法處理制程生產(chǎn)。這一制程不會產(chǎn)生氮、硫、氧和芳香烴類，因此可得到無任何雜質(zhì)的清潔基料。

加入添加劑后，Ultragrade? 油可改善真空性能、熱穩(wěn)定性和氧化穩(wěn)定性，不易生銹。干泵選擇CVD制程通常需要通過選擇適當(dāng)?shù)母杀卯a(chǎn)品來克服四個特定挑戰(zhàn)。油中的氧化劑可讓泵承受較高工作溫度而不會造成油的退化，從而延長換油時間間隔。特性與優(yōu)勢： 加入添加劑后，Ultragrade? 油可改善真空性能、熱穩(wěn)定性和氧化穩(wěn)定性，不易生銹。

油中的氧化劑可讓泵承受較高工作溫度而不會造成油的退化，從而延長換油時間間隔。

這些油所具備的以上特性使其適用于多種應(yīng)用。

真空泵泵體振動大的原因有哪些?

水環(huán)變化：若水環(huán)內(nèi)徑變大(供水不足所致)，則葉片頂端將與水環(huán)內(nèi)壁發(fā)生碰撞，產(chǎn)生振動。若水環(huán)內(nèi)徑變小(供水過量所致)，其對葉輪的擾流及阻力損失增加，引發(fā)振動，同時增加泵的功耗。該礦物油中的預(yù)先處理過的，和它的組合物的方式是將適合的應(yīng)用程序的決定性因素。上海真空泵工作中，一定要保證合適的工作水供水量，若進(jìn)水管發(fā)生結(jié)垢及堵塞現(xiàn)象。只憑進(jìn)水壓力不能準(zhǔn)確衡量進(jìn)水供應(yīng)情況，一般可通過觀察上海真空泵的排水量來判斷水環(huán)的工作情況。