特種氣體系統(tǒng)：簡單供氣系統(tǒng)

由于氣體流量小，不經(jīng)常使用，特種氣體氣源多采用普通鋼瓶（<50L）。輸送系統(tǒng)多采用半自動氣瓶柜或氣瓶架加簡單的控制面板；配置繼電器控制，自動切換，手動吹掃，手動放空，有害性氣體配備緊急切斷閥。惰性氣體瓶架則采用全手動系統(tǒng)，有些甚至用單瓶系統(tǒng)。所有氣體共用一個氣體房，甚至沒有氣體房，特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時放在回風夾道，或直接放在工藝制造設備旁邊或隔壁。如果沒有特別危險氣體一般共用一個抽風系統(tǒng)。簡單供氣系統(tǒng)通常存在安全隱患。氦氣化學性質不活潑，使氦氣熱氣球和飛艇比氫氣熱氣球和飛艇更為安全。

特種氣體系統(tǒng)：

管道系統(tǒng)的設計

材料的選擇

特氣管路系統(tǒng)普遍采用316L不銹鋼電解拋光（EP）管道，閥門一般采用高純調壓閥、隔膜閥、高精密過濾器、（＜0.003微米）、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。特氣柜中裝有各種氣體驅動閥，主管路在送氣前必須進行管道的吹掃和空氣的置換，所以還需輔助有高純氮氣和潔凈壓縮空氣系統(tǒng)。對于某些高腐蝕性的氣體如CL2等，采用經(jīng)過特殊處理的耐腐蝕強的EP管 .

輔助系統(tǒng)的設計

氣體柜或控制面板在安裝和運輸?shù)倪^程中由于搬運和震動，閥門、接頭、過濾器等的更換、或其他原因、需要對其重新進行高壓氣密性試驗和氦檢，氣體的置換也需要用到高壓氮氣或氦氣，所以特氣柜需設計接入高壓惰性氣體氦氣或氮氣。

特種氣體系統(tǒng)的設計與施工

氣體柜或控制面板在安裝和運輸?shù)倪^程中由于搬運和震動，閥門、接頭、過濾器等的更換、或其他原因、需要對其重新進行高壓氣密性試驗和氦檢，氣體的置換也需要用到高壓氮氣或氦氣，所以特氣柜需設計接入高壓惰性氣體氦氣或氮氣。一般選擇在特氣房設置一臺或多臺惰性氣體柜。

特氣柜中裝有各種氣體驅動閥，主管路在送氣前必須進行管道的吹掃和空氣的置換，所以還需輔助有高純氮氣和潔凈壓縮空氣系統(tǒng)。光纖最1主要參數(shù)是損耗，無論是石英光纖還是浮化玻璃光纖中的損耗，主要是由OH-陰離子、過渡金屬離子和稀土金屬離子引起的。氮氣系統(tǒng)采用SUS316L-EP管，CDA可采用SUS316L-BA管，其管徑根據(jù)氣柜的多少來計算決定。