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濕式蝕刻的優(yōu)缺點(diǎn)
低成本、高可靠性、高產(chǎn)能及優(yōu)越的蝕刻選擇比。但相對(duì)于干式蝕刻,除了無(wú)法定義較細(xì)的線寬外,濕式蝕刻仍有以下的缺點(diǎn):1)需花費(fèi)較高成本的反應(yīng)溶液及去離子水;2)化學(xué)藥品處理時(shí)人員所遭遇的安全問(wèn)題;3)光阻附著性問(wèn)題;4)氣泡形成及化學(xué)蝕刻液無(wú)法完全與晶圓表面接觸所造成的不完全及不均勻的蝕刻;5)廢氣及潛在的性。
濕式蝕刻過(guò)程可分為三個(gè)步驟:1)化學(xué)蝕刻液擴(kuò)散至待蝕刻材料之表面;2)蝕刻液與待蝕刻材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng);3)反應(yīng)后之產(chǎn)物從蝕刻材料之表面擴(kuò)散至溶液中,并隨溶液排出(3)。三個(gè)步驟中進(jìn)行慢者為速率控制步驟,也就是說(shuō)該步驟的反應(yīng)速率即為整個(gè)反應(yīng)之速率。
大部份的蝕刻過(guò)程包含了一個(gè)或多個(gè)化學(xué)反應(yīng)步驟,各種形態(tài)的反應(yīng)都有可能發(fā)生,但常遇到的反應(yīng)是將待蝕刻層表面先予以氧化,再將此氧化層溶解,并隨溶液排出,如此反復(fù)進(jìn)行以達(dá)到蝕刻的效果。如蝕刻硅、鋁時(shí)即是利用此種化學(xué)反應(yīng)方式。
能夠影響蝕刻工藝品質(zhì)量的因素都有哪些呢?
1、蝕刻工藝品的方式:浸泡和鼓泡式蝕刻會(huì)形成較大的側(cè)蝕,潑濺和噴淋式蝕刻側(cè)蝕較小,尤以噴淋蝕刻效果好。
2、蝕刻液的品種:不同的蝕刻液化學(xué)組分不同,其蝕刻速率就不同,蝕刻工藝品的蝕刻系數(shù)也不同。例如:酸性氯化銅蝕刻液的蝕刻系數(shù)通場(chǎng)3,堿性氯化銅蝕刻液的蝕刻系數(shù)可到達(dá)4。近來(lái)的研討標(biāo)明,以為根底的蝕刻零碎可以做到簡(jiǎn)直沒有側(cè)蝕,到達(dá)蝕刻的線條側(cè)壁接近垂直。這種蝕刻零碎正有待于開發(fā)。
不銹鋼蝕刻是怎么達(dá)到效果的
不銹鋼蝕刻是怎么達(dá)到效果的 有很多的產(chǎn)品都需要有加工技術(shù)才可以把銷售量給提高,而且還可以讓產(chǎn)品更加的,而現(xiàn)在的不銹鋼蝕刻也是非常受歡迎,而它主要的還是它的技術(shù)問(wèn)題,技術(shù)會(huì)影響整個(gè)產(chǎn)品質(zhì)量。 很多時(shí)候我們看到的都是已經(jīng)完成蝕刻作業(yè)的金屬蝕刻產(chǎn)品,也正是見到的都是完成品,所以對(duì)于蝕刻作業(yè)中各種操作我們都是一問(wèn)三不知。金屬蝕刻聽起來(lái)好像很簡(jiǎn)單,但是在實(shí)際的操作中卻是有著許多需要注意的問(wèn)題。當(dāng)然這其中所遇到的問(wèn)題我們可以不用去了解,但是對(duì)于金屬蝕刻的作業(yè)過(guò)程還是可以簡(jiǎn)單了解一些的。 其實(shí)我們平常所說(shuō)的金屬蝕刻也叫作光化學(xué)金屬蝕刻,主要及時(shí)通過(guò)曝光制版加顯影之后,再將金屬蝕刻區(qū)域上的保護(hù)膜去除掉,然后再在金屬蝕刻的時(shí)候接觸化學(xué)溶液,從而達(dá)到溶解腐蝕的作用,形成凹凸或者是鏤空成型的效果。 在蝕刻的過(guò)程中一定要注意操作規(guī)范,因?yàn)榛瘜W(xué)溶液具有強(qiáng)烈的腐蝕性,如果接觸到皮膚的話那將會(huì)是非常痛苦的事情,所以一定要特別注意!