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激光干涉儀的類型有哪些？

您知道激光干涉儀的類型有哪些嗎？

1、單頻激光干涉儀

從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號，經(jīng)放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù)，再由電子計算機按計算式式中λ為激光波長(N 為電脈沖總數(shù))，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結(jié)果。因此，在加工過程中進行監(jiān)測以排除各種因素對尺寸精度的影響便十分重要。

球桿儀使用方法

球桿儀是用于數(shù)控機床兩軸聯(lián)動精度快速檢測與機床故障分析的一種工具。

它由一安裝在可伸縮的纖維桿內(nèi)的位移傳感器構(gòu)成，該傳感器包括兩個線圈和一個可移動的內(nèi)桿，

其工作原理類同于使用LVDT技術(shù)的位移傳感器。

當其長度變化時，內(nèi)桿移入線圈，感應(yīng)系數(shù)發(fā)生變化，檢測電路將電感信號轉(zhuǎn)變成分辨率為0.1μm位移信號，通過接口傳入PC機。其精度經(jīng)激光干涉儀檢測達±0.5μm(在20℃)。

球桿儀測量誤差方法研究

隨著科學技術(shù)的發(fā)展，測量技術(shù)和測量工具長足的進步。從原始的目測、步測法到后來的米尺、游標卡尺、千分尺等測量法，再到應(yīng)變片、電流電壓感應(yīng)等測量法，電磁相干和相位測量，光柵測量到現(xiàn)在的激光測量。 DBB-Double ball bar）是ISO230-4中所推薦的一種方法。測針有效的碰點的方法正確有效的使用測針來觸測零件時，可以避免掉許多測量上不必要的誤差產(chǎn)生。