真空機組將前級泵中的工作液改為油時，可以有效地提高羅茨真空機組的極限真空度（見參數(shù)表），羅茨油環(huán)機組為閉路循環(huán)系統(tǒng)，可減少污染，節(jié)約水源。羅茨油環(huán)真空機組廣泛應(yīng)用于真空浸漬、真空干燥、真空除氣等工藝中。

真空機組選用水環(huán)泵作為前級泵比其它真空泵更為有利，這主要是由于它能夠抽除大量的可凝性蒸汽，特別是當氣鎮(zhèn)油封機械真空泵排除可凝性蒸汽能力不夠，或使用的溶劑能使泵油惡化而影響性能，或者是真空系統(tǒng)不允許油污染的時候更為明顯。在選擇真空機組時，一般需要真空機組的極限真空度要高于工作真空度半個到一個數(shù)量級以上才能達到使用要求，即工作壓力≥極限壓力×（5~10）為宜。那是因為真空泵碳片是有石墨材料制作而成的，所以真空泵碳片又可簡稱為石墨碳片。