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漲知識(shí)！帶你了解14類工業(yè)氣體

蝕刻氣體

蝕刻方式有濕法化學(xué)蝕刻和干法化學(xué)蝕刻。干法蝕刻所用氣體稱蝕刻氣體, 通常多為氟化物氣體, 干法蝕刻由于蝕刻方向性強(qiáng)、工藝控制方便、無(wú)脫膠現(xiàn)象、無(wú)基片損傷和沾污, 所以其應(yīng)用范圍日益廣泛。

摻雜氣體(Dopant Gases)

在半導(dǎo)體器件和集成電路制造中, 將某種或某些雜質(zhì)摻入半導(dǎo)體材料內(nèi), 以使材料具有所需要的導(dǎo)電類型和一定的電阻率, 用來(lái)制造PN結(jié)、電阻、埋層等。摻雜工藝所用的氣體摻雜源被稱為摻雜氣體。

注意事項(xiàng)

包裝的氮?dú)怃撈可暇惺褂玫哪晗?，一般?年必須檢驗(yàn)，30年強(qiáng)制報(bào)廢，凡到期的氣瓶必須送往有部門進(jìn)行安全檢驗(yàn)，方能繼續(xù)使用。

每瓶氮?dú)庠谑褂玫轿矚鈺r(shí)，應(yīng)保留瓶?jī)?nèi)余壓在0.5MPa，不得低于0.25MPa余壓，應(yīng)將瓶閥關(guān)閉，以保證氣體質(zhì)量和使用安全。

氣瓶如何安全管理

存儲(chǔ)場(chǎng)所允許溫度應(yīng)根據(jù)盛裝氣體性質(zhì)而確定，儲(chǔ)存場(chǎng)所的相對(duì)濕度應(yīng)控制在80％以下。      

存儲(chǔ)毒性氣體或可燃性氣體氣瓶的室內(nèi)儲(chǔ)存場(chǎng)所，必須監(jiān)測(cè)儲(chǔ)存點(diǎn)空氣性氣體或可燃性氣體的濃度。

如果濃度超標(biāo)，應(yīng)強(qiáng)制換氣或通風(fēng)，并查明危險(xiǎn)氣體濃度超標(biāo)的原因，采取整改措施。        

如果氣瓶漏氣，首先應(yīng)根據(jù)氣體性質(zhì)做好相應(yīng)的人體保護(hù)。