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激光干涉儀的類型有哪些？

您知道激光干涉儀的類型有哪些嗎？

1、單頻激光干涉儀

從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號，經(jīng)放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù)，再由電子計算機按計算式式中λ為激光波長(N 為電脈沖總數(shù))，算出可動反射鏡的位移量L。藍牙無線技術(shù)確保了無需處理線纜問題、在防護門關(guān)閉的狀態(tài)下操作，并降低了系統(tǒng)損壞的可能性。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結(jié)果。

更換測針（不同的三坐標測量機測量軟件方法不同），因為測針長度是測頭自動校驗的重要參數(shù)，如果出現(xiàn)錯誤，會造成測針的非正常碰撞，輕者碰壞測針，重則造成測頭（傳感器）損壞。

正確輸入標準球的實際直徑。從以上所敘的校驗測針的原理中可知，標準球直徑值直接影響測針寶石球直徑的校驗值，雖然這是一個小概率事件，但是對初學者來說，這也有可能發(fā)生的。

為什么使用球桿儀？

作用：機床精度綜合檢測分析的標準設(shè)備。

測試原理為：利用機床的兩軸聯(lián)動做圓弧插補，通過分析圓弧的半徑變化和弧線的軌跡特征來判斷機床的誤差元素。

微位移球桿儀一般是利用線性位移傳感器（LVDT）檢測位移變化量的，連桿長度變化范圍比較小，一般應(yīng)用于測量數(shù)控機床作圓弧插補運動時的半徑變化量。根據(jù)零件在機測量的不同需要，可以使用代碼導(dǎo)出的標準在機測量循環(huán)，也可以使用基于PC機的對話式在機測量軟件，還可以使用直接從CAD導(dǎo)入零件模型的自動在機測量軟件OMV（OnMachineVerification）。而伸縮式球桿儀一般采用激光干涉儀來記錄沿連桿方向的長度變化，因而其連桿長度變化范圍要比微位移球桿儀大得多。