無塵車間的溫濕度和壓差的控制方法

在電子行業(yè)制造車間是產(chǎn)生靜電的地方，通常靜電會對產(chǎn)品造成短路甚至會造成員工導電事故，所以電子行業(yè)的無塵車間相對濕度不應低于30%，這樣即可以減少靜電的產(chǎn)生，通常建議無塵車間的防靜電區(qū)域相對濕度不低于50%。過于干燥的空氣中易粉塵飛揚，電子廠無塵車間無特殊要求的情況下，溫度控制在22 ℃ 左右，相對濕度控制在 55 ～ 60%RH 之間，在這種環(huán)境下，人們感覺舒適，靜電也消失了。

無塵車間壓力閉環(huán)控制方式萬級凈化車間

當前工業(yè)無塵車間的閉環(huán)控制，常采用“直接壓力”控制，即以室內(nèi)壓差的維持控制新風或回風或排風作為變量。

閉環(huán)控制可以應對：

（1）由排風變化引起的壓力波動。

（2）由于門開著引起的反向流。

（3）以及室外風壓并系統(tǒng)阻力引起的壓力波動。

主要是控制不出現(xiàn)反向流，但對壓力波動會有一定范圍，這對無塵車間已能滿足要求。此控制方式目前常多用于排風變化的無塵車間以及門啟閉頻繁不宜設緩沖室或氣閘的無塵車間。

常用控制系統(tǒng)：

（1）以室內(nèi)正壓的維持控制新風作為變量

適用于一個HVAC系統(tǒng)對一個無塵車間的情況，控制較直接，當有采用新風機組時，一般宜采用變速風機以實現(xiàn)節(jié)能，尤其是新風量變化較大時，對循環(huán)風機一般可以定風量運行，不作自動調(diào)節(jié)。當前電子工業(yè)、半導體、集成電路工廠較多的采用這種控制系統(tǒng)。

（2）以室內(nèi)壓差的維持控制回風作變量

此種系統(tǒng)一般多適用于一個HVAC系統(tǒng)對多個無塵車間的情況，由于風管布置及接管等情況，控制回風較控制新風更易合理實現(xiàn)。一般情況下，送、回風機或單風機可不作自動調(diào)節(jié)，新風由系統(tǒng)靜壓及風機特性自行平衡風量，當然必要時，采用自動調(diào)節(jié)閥及風機風量，壓差可更穩(wěn)定。

無塵車間管理規(guī)范萬級凈化車間

進入無塵室之程序：1. 踏上換鞋區(qū)入口之地板，必須將外鞋脫下。

2. 外鞋置于一般鞋柜之中；進入更衣室換穿無塵服，在依規(guī)定進入空氣鳳淋室進車間。

3. 空氣風淋室內(nèi)，不可超過4個人同時進入，進入無塵室限度為2人，出無塵室為4人。

4. 為避免影響空氣正常循環(huán)及除塵效果，人員不可倚靠在空氣風淋室的門或墻上；人員必須站立于空氣淋室中央粘塵墊上輕微搖動雙手旋轉(zhuǎn)360度，以幫助灰塵掉落。

5. 風嘴方向正常應是向下吹氣，請勿隨意撥弄調(diào)整好的風嘴方向，以達到除塵效果。

6. 頭發(fā)必須蓋在無塵帽之內(nèi)，必要時可使用發(fā)罩。

7. 口、鼻必須蓋在口罩之內(nèi)，口罩使用后即應丟棄，不可重復使用；頭發(fā)必須扎入無塵衣之服內(nèi)。

8. 無塵衣穿著程序：（1）口罩（2）無塵衣（3）無塵鞋。穿上無塵衣，戴好口罩、無塵帽，拉上無塵服拉鏈，穿好無塵鞋，確保衣著整齊后方可進入無塵車間。