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在集成電路、半導(dǎo)體和電真空器件制造中用作保護(hù)氣和運(yùn)載氣,化學(xué)氣相淀積時(shí)的載氣,液體擴(kuò)散源的攜帶氣,在高溫?cái)U(kuò)散爐中用作器件的保護(hù)氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中,作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求高純氮?dú)鈨r(jià)錢純度為99.99%以上。
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產(chǎn)品純度可在較大范圍內(nèi)根據(jù)用戶需要進(jìn)行調(diào)節(jié),操作維護(hù)方便、運(yùn)行成本較低、裝置適應(yīng)性較強(qiáng)等特點(diǎn),故在1000Nm3/h以下制氮設(shè)備中頗具競(jìng)爭(zhēng)力,越來越得到中、小型氮?dú)庥脩舻臍g迎,PSA制氮?dú)庖殉蔀橹小⑿⌒偷獨(dú)庥脩舻妮^好方法。
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避免爆胎和缺氣碾行
爆胎是公路交通事故中的頭號(hào)原因。據(jù)統(tǒng)計(jì),在高速公路上有46%的交通事故是由于輪胎發(fā)生故障引起的,其間爆胎一項(xiàng)就占輪胎事故總量的70%。
這樣可以使霉菌、蛀蟲無法生存,而且可以抑制糧食的呼吸作用,使糧食能夠長(zhǎng)期安全保存。這種保存糧食的新方法,叫“真空充氮貯糧。
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