1. 真空泵油的密封性好：

真空泵油需要有適宜的粘度，在低溫下能使真空泵迅速啟動(dòng)，在高溫下真空泵油能具有良好的密封性，在泵內(nèi)真空泵油具有較低的溫升，不含有輕質(zhì)的易揮發(fā)組分，降低使用過(guò)程中真空泵的返油率。

2.真空泵油潤(rùn)滑性好：

摩擦面的磨擦磨損、表面疲勞磨損以及腐蝕磨損等，都與潤(rùn)滑條件有關(guān)，表現(xiàn)佳的真空泵油有利于抑制腐蝕磨損；可以有效地減輕粘著磨損和表面疲勞磨損，流體潤(rùn)滑劑對(duì)摩擦面具有清洗作用，也可減輕摩擦磨損，降低摩擦阻力以節(jié)約能源，減少磨損以延長(zhǎng)機(jī)械壽命。

真空泵降溫及冷卻性能好：

降低摩擦面的溫度是潤(rùn)滑的一個(gè)重要作用。摩擦面運(yùn)動(dòng)時(shí)必須克服摩擦力而作功，消耗在克服摩擦力上的功全部轉(zhuǎn)化為熱量，其結(jié)果將引起摩擦面溫度上升，摩擦熱的大小與潤(rùn)滑狀態(tài)有關(guān)，粘度高的熱量大，粘度低的熱量小，而邊界摩擦的熱量則介于兩者之間。由此可見(jiàn)，用合適粘度的真空泵油不僅可以實(shí)現(xiàn)液體潤(rùn)滑，減少摩擦熱的產(chǎn)生，而且還可以將摩擦熱及時(shí)地帶出泵體外。

吸氣劑離子泵它是使被電離的氣體通過(guò)電磁場(chǎng)或電場(chǎng)的作用吸附在有吸氣材料的表面上，以達(dá)到抽氣的目的。它有如下幾種型式。(1)蒸發(fā)離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華（或蒸發(fā)）而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上，以實(shí)現(xiàn)抽氣的一種真空泵。(2)濺射離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在由陰極連續(xù)濺射散出來(lái)的吸氣材料上，以實(shí)現(xiàn)抽氣目的的一種真空泵。低溫泵利用低溫表面捕集氣體的真空泵