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激光脈沖沉積裝置報價多重優(yōu)惠「多圖」

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發(fā)布時間:2020-10-31 06:16  






脈沖激光沉積的應(yīng)用領(lǐng)域

沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司專業(yè)生產(chǎn)、銷售脈沖激光沉積,以下信息由沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司為您提供。

脈沖激光沉積技術(shù)適合做的薄膜包括各種多元氧化物,氮化物,硫化物薄膜,金屬薄膜,磁性材料等。

應(yīng)用領(lǐng)域:

單晶薄膜外延(SrTiO3,LaAlO3)

壓電薄膜(PZT,AlN,BiFeO3,BaTiO3)

鐵電薄膜(BaTiO3,KH2PO4)

熱電薄膜(SrTiO3)

金屬和化合物薄膜電極(Ti,Ag,Au,Pt,Ni,Co,SrRuO3,LaNiO3,YZrO2,GdCeO2,LaSrCoFeO3)

半導(dǎo)體薄膜(Zn(Mg)O,AlN,SrTiO3)

高K介質(zhì)薄膜(HfO2,CeO2,Al2O3,BaTiO3,SrTiO3,PbZrTiO3,LaAlO3,Ta2O5)

超導(dǎo)薄膜(YBa2CuO7-x,BiSrCaCuO)

光波導(dǎo),光學(xué)薄膜(PZT,AlN,BaTiO3,Al2O3,ZrO2,TiO2)

超疏水薄膜(PTFE)

紅外探測薄膜(V2O5,PZT)



脈沖激光沉積的原理

脈沖激光沉積原理:在真空環(huán)境下利用脈沖激光對靶材表面進行轟擊,利用激光產(chǎn)生的局域熱量將靶材物質(zhì)轟擊出來,再沉積在不同的襯底上,從而形成薄膜。

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