所描述的特征、結(jié)構(gòu)或特性可以以任何合適的方式結(jié)合在一個(gè)或更多實(shí)施方式中。在下面的描述中，提供許多具體細(xì)節(jié)從而給出對本公開的實(shí)施方式的充分理解。然而，本領(lǐng)域技術(shù)人員將意識到，可以實(shí)踐本公開的技術(shù)方案而沒有所述特定細(xì)節(jié)中的一個(gè)或更多，或者可以采用其它的方法、組元、材料等。在其它情況下，不詳細(xì)示出或描述公知結(jié)構(gòu)、材料或者操作以避免模糊本公開的各方面。

曝光及顯影設(shè)備還包括主體曝光機(jī)10、基板輸送機(jī)構(gòu)50及傳送裝置40。主體曝光機(jī)10用于先對基板S的主體進(jìn)行曝光。傳送裝置40用于將來自該主體曝光機(jī)10的基板S傳送至基板輸送機(jī)構(gòu)50,傳送裝置40例如為機(jī)械手臂?；遢斔蜋C(jī)構(gòu)50用于將基板S輸送至顯影裝置30，基板輸送機(jī)構(gòu)50例如為輸送輥。由于該基板的長邊邊緣容易存在殘留光阻，因此，本公開通過設(shè)置對應(yīng)于基板的長邊邊緣的邊緣曝光裝置20，即可去除絕大部分的殘留光阻。

消費(fèi)進(jìn)程中的控制。消費(fèi)進(jìn)程中的控制次要表如今對溶液的回收，而不是間接的排放。詳細(xì)做法是在任務(wù)缸的左近添加一個(gè)回收缸，然后再停止水洗等后續(xù)加工。

對清洗水及廢液的處置。蝕刻加工中必要的廢水處置設(shè)備是必需的，不能由于本身的利益而危害環(huán)境。假如有新添加的工序，應(yīng)對新增工序所用化學(xué)品發(fā)生的廢液有完善的處置辦法，假如現(xiàn)有的廢水處置設(shè)備不能對其停止處置則必需要新增相應(yīng)的處置設(shè)備，保證從金屬蝕刻消費(fèi)線所排放的廢水要達(dá)標(biāo)排放。

海水淡化的方法主要有兩種：熱法和膜法。熱法包括多級閃蒸法（MSF）和多效蒸餾法（MED）。膜法包括反復(fù)滲透滲出（RO）和電滲析法/反復(fù)電滲析法（ED/EDR）。不銹鋼因?yàn)榫哂心颓治g特性用在各種淡化方法的工程中。

所有的淡化方法都是同樣的過程。引入的海水分為兩部門，一部門作處理，另一部門濃縮。處理的海水鹽濃度降低而濃縮的海水鹽度遠(yuǎn)高于原海水。海水淡化過程所用設(shè)備材料需具有耐侵蝕的特性。材料的選擇和設(shè)計(jì)原則取決于材料的服役環(huán)境。不銹鋼因?yàn)槠淠颓治g和耐用性使其成為理想的材料。