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大塚OPTM信賴推薦

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發(fā)布時(shí)間:2020-08-09 06:24  

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考慮到表面粗糙度測(cè)量的膜厚值[FE-0007]

當(dāng)樣品表面存在粗糙度(粗糙度)時(shí),將表面粗糙度和空氣(air)及膜厚材料以1:1的比例混合,模擬為“粗糙層”,可以分析粗糙度和膜厚度。此處示例了測(cè)量表面粗糙度為幾nm的SiN(氮化硅)的情況。


1.膜厚測(cè)試儀出現(xiàn)下列情況,必需重新校準(zhǔn)?!  ば?zhǔn)時(shí),輸入了一個(gè)錯(cuò)誤值;  ·操作錯(cuò)誤。  2.在直接方式下,如果輸入了錯(cuò)誤的校準(zhǔn)值,應(yīng)緊接著做一次測(cè)量,隨后再做一次校準(zhǔn),即可獲取新值消除錯(cuò)誤值。  3.每一組單元中,只能有一個(gè)校準(zhǔn)值?! ?.零點(diǎn)校準(zhǔn)和二點(diǎn)校準(zhǔn)都可以重復(fù)多次,以獲得更為精準(zhǔn)的校準(zhǔn)值,提高測(cè)量精度但此過(guò)程中一旦有過(guò)一次測(cè)量,則校準(zhǔn)過(guò)程便告結(jié)束。


膜厚測(cè)試儀波譜校準(zhǔn)   不關(guān)機(jī)狀態(tài)下每日必做一次或每次關(guān)機(jī)3小時(shí)以上再次重開(kāi)機(jī)必做,目的讓儀器進(jìn)行自我補(bǔ)償調(diào)整。首先點(diǎn)擊任務(wù)欄中的“波譜校準(zhǔn)”,然后將波譜校準(zhǔn)片放入儀器,將Cu-Ag合金部分移至十字線中間,鐳射聚焦,測(cè)量(點(diǎn)擊Go鍵)。待膜厚測(cè)試儀器自動(dòng)完成每一步,紅色STOP鍵會(huì)轉(zhuǎn)變成綠色GO鍵后,將純Ag部分移至十字線中間,鐳射聚焦,測(cè)量(點(diǎn)擊Go鍵),完成后出現(xiàn)“波譜校準(zhǔn)成功”字樣的對(duì)話框時(shí),點(diǎn)擊“確定”即可。


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