氣體流量積算儀

1、 輸入信號(hào)：標(biāo)準(zhǔn)線性信號(hào)、P t 1 0 0 熱電阻、頻率信號(hào)。

2、可開方及小信號(hào)切除。8 個(gè)補(bǔ)償點(diǎn)及參數(shù)。

3、 4 位瞬時(shí)流量值顯示和 6 位或 9 位累計(jì)流量值顯示。

4、頻率輸入時(shí)可對(duì)超低頻進(jìn)行流量積算與瞬時(shí)流量顯示。

5、可清除流量積算值、累計(jì)流量值清零。

6、可編程定量積算流量、可批量、定量控制。

7、變送輸出：0～10mA 或 4～20mA。

8、可對(duì)瞬時(shí)、累計(jì)流量控制輸出。

9、可將兩個(gè)流量信號(hào)按配比合成后顯示瞬時(shí)流量及進(jìn)行流量累計(jì)，模擬輸出可同時(shí)選擇 兩路。

10、雙流量積算控制、雙模擬量變送?？膳?、定量控制。

11、儀表斷電后，參數(shù)及累計(jì)流量值可*保存。

12、可提供多主機(jī)，單主機(jī)，無主機(jī)方式的 RS485 異步串行通訊方式。通訊數(shù)據(jù)校驗(yàn)遵照 CRC-16 美國(guó)數(shù)據(jù)通訊標(biāo)準(zhǔn)，高可靠性循環(huán)，條碼校驗(yàn)。

氣體質(zhì)量流量控制器

氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對(duì)于氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制；氣體質(zhì)量流量計(jì)（Mass Flow Meter縮寫為MFM）用于對(duì)于氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量。擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測(cè)量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工，冶金，制藥等。特點(diǎn)：精度高，重復(fù)性好。

怎么理解質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器的流量單位？

氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升）和slm（Standard Liter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升）來表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計(jì)的重要區(qū)別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。

對(duì)多數(shù)用戶而言，體積流量的表示方法很符合習(xí)慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位時(shí)間內(nèi)流過介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min）,這個(gè)要求是很容易實(shí)現(xiàn)的。因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數(shù), 可以方便地查到，因而簡(jiǎn)單地做一個(gè)乘法（以密度乘以若干slm）即可實(shí)現(xiàn)。所以說,在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。

需要注意的是, 被全世界質(zhì)量流量控制器廠商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位, 不符合國(guó)內(nèi)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)的常用的質(zhì)量流量的國(guó)際單位（Kg/min）, 但是它符合國(guó)際半導(dǎo)體協(xié)會(huì)制定的SEMI國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。