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濺射鍍膜機(jī)濺射鍍技術(shù)優(yōu)點(diǎn)
濺射鍍膜機(jī)濺射鍍技術(shù)應(yīng)用 蒸發(fā)和磁控濺射兩用立式裝飾鍍膜機(jī),主要適用于塑料、陶瓷、玻璃金屬材料表面鍍制金屬化裝飾膜。由于鍍膜室為立式容器,所以它具有臥式鍍膜機(jī)的一切優(yōu)點(diǎn), 又利于自重較大的、易碎的鍍件裝卡,更可方便地實(shí)現(xiàn)自動(dòng)生產(chǎn)線,是替代傳統(tǒng)濕法水電鍍的更為理想的新一代真空鍍膜設(shè)備。本機(jī)鍍部分產(chǎn)品可不做底油。這種被稱為孿生靶濺射的中頻交流磁控濺射技術(shù),不但消除了陽(yáng)極的。本機(jī)主 要特點(diǎn)配用改進(jìn)型高真空排氣系統(tǒng),抽速快、、節(jié)電、降噪和延長(zhǎng)泵使用壽命;實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)、磁控濺射、自動(dòng)控制,操作簡(jiǎn)單,工作可靠。
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磁控濺射中靶zhong毒是怎么回事,一般的影響因素是什么?
靶zhong毒現(xiàn)象
(1)正離子堆積:靶zhong毒時(shí),靶面形成一層絕緣膜,正離子到達(dá)陰極靶面時(shí)由于絕緣層的阻擋,不能直接進(jìn)入陰極靶面,而是堆積在靶面上,容易產(chǎn)生冷場(chǎng)致弧光放電---打弧,使陰極濺射無(wú)法進(jìn)行下去。(2)陽(yáng)極消失:靶zhong毒時(shí),接地的真空室壁上也沉積了絕緣膜,到達(dá)陽(yáng)極的電子無(wú)法進(jìn)入陽(yáng)極,形成陽(yáng)極消失現(xiàn)象。不管平衡非平衡,若磁鐵靜止,其磁場(chǎng)特性決定一般靶材利用率小于30%。
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磁控濺射法的優(yōu)勢(shì)
目前常用的制備CoPt 磁性薄膜的方法是磁控濺射法。磁控濺射法是在高真空充入適量的ya氣,在陰極(柱狀靶或平面靶)和陽(yáng)極(鍍膜室壁) 之間施加幾百K 直流電壓,在鍍膜室內(nèi)產(chǎn)生磁控型異常輝光放電,使ya氣發(fā)生電離。ya離子被陰極加速并轟擊陰極靶表面,將靶材表面原子濺射出來(lái)沉積在基底表面上形成薄膜。通過(guò)更換不同材質(zhì)的靶和控制不同的濺射時(shí)間,便可以獲得不同材質(zhì)和不同厚度的薄膜。從應(yīng)用角度出發(fā),通常要求ITO薄膜的成份是In2O3和SnO2,薄膜中銦錫低價(jià)化合物愈少愈好。磁控濺射法具有鍍膜層與基材的結(jié)合力強(qiáng)、鍍膜層致密、均勻等優(yōu)點(diǎn)。
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