用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原因

選擇示漏氣體(示蹤氣體）的原則是：它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低；檢漏儀對(duì)示漏氣體的靈敏度高；它不會(huì)對(duì)人員、環(huán)境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患；價(jià)格低。

質(zhì)譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體，主要原因如下：

1、氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量極1少（在空氣中約含5.2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因?yàn)楸镜仔。赡承┰蛞鸨镜椎牟▌?dòng)，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應(yīng)出來(lái)，靈敏度高。

2、氦的質(zhì)量?。ㄏ鄬?duì)分子質(zhì)量為4），易于穿過(guò)漏孔。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過(guò)同一漏孔的漏率就大，容易發(fā)現(xiàn)，靈敏度高。

3、氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學(xué)反應(yīng)，不會(huì)污染被檢件，使用安全。

4、在氦兩側(cè)的是氫（質(zhì)荷比為2）和雙電荷原子碳（質(zhì)荷比為6），質(zhì)荷比都與氦相差較大。這樣，它們?cè)诜治銎髦械钠D(zhuǎn)半徑相差也大，容易分開(kāi)，定標(biāo)找氦峰時(shí)，不易受其他離子的干擾，因此就降低了對(duì)分析器制造精度的要求，易于加工。真空箱式氦檢漏系統(tǒng)【工作環(huán)境】科創(chuàng)真空——專業(yè)真空箱氦檢漏供應(yīng)商，我們?yōu)槟鷰?lái)以下信息。同時(shí)，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大，使更多的氦離子通過(guò)，提高了儀器靈敏度。

5、氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附。這樣檢出一個(gè)漏孔可以使氦信號(hào)迅速消失以便繼續(xù)進(jìn)行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。

6.氫氣有些性能（如質(zhì)量小、易通過(guò)漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有易1爆危險(xiǎn)，另一方面在油擴(kuò)散泵中，由于油受熱裂解會(huì)產(chǎn)生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動(dòng)大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。

科創(chuàng)真空專業(yè)生產(chǎn)氦氣檢漏儀，如果您想了解更多您可撥打圖片上的電話進(jìn)行咨詢，科儀創(chuàng)新竭誠(chéng)為您服務(wù)！

氦質(zhì)譜檢漏原理

氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是以無(wú)色、無(wú)味的惰性氣體氦氣為示蹤介質(zhì)、以磁質(zhì)譜分析儀為檢測(cè)儀器，用于檢漏的一種檢測(cè)技術(shù)，它的檢漏靈敏度可達(dá)10-14～10-15Pa?m3/s，可以準(zhǔn)確確定漏孔位置和漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)組件和電子學(xué)控制元件三大部分組成。5)、如果第三點(diǎn)檢漏儀檢測(cè)到超過(guò)設(shè)定值(漏率)的工件，檢漏儀聲光報(bào)警，將：工作內(nèi)的氦氣回收,對(duì)真空箱和管道巾的氦氣通過(guò)清潔泵抽除，免得影響檢漏儀的檢測(cè)效果和不污染檢漏儀。質(zhì)譜室接在分子泵的高真空端，入口接在分子泵和機(jī)械泵之間，利用分子泵對(duì)不同氣體具有不同壓縮比的特點(diǎn)，氦氣逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室。檢漏儀在質(zhì)譜室中將氣體電離,這些離子在加速電場(chǎng)的作用下進(jìn)入磁場(chǎng)，在洛倫茲力作用下發(fā)生偏轉(zhuǎn),由于不同荷質(zhì)比的離子具有不同的電磁學(xué)特性，偏轉(zhuǎn)半徑各不相同，在擋板的作用下，氦檢漏儀的收集板只允許帶正電的氦離子被接收到，單位時(shí)間到達(dá)收集板的氦離子對(duì)應(yīng)于一個(gè)電流信號(hào)，這個(gè)電流信號(hào)正比于進(jìn)入到達(dá)收集板氦離子的數(shù)量，電流信號(hào)經(jīng)過(guò)放大后顯示在質(zhì)譜儀的顯示面板上，其大小反映了泄漏點(diǎn)的漏率，通過(guò)泄漏率大小來(lái)確定該位置泄漏程度的大小。

氦質(zhì)譜檢漏儀的示蹤氣體選用氦氣,是因?yàn)楹饩哂幸韵聝?yōu)良特性：

①氦氣在空氣中的含量少，體積含量為5.24×10-6，如果氦氣在環(huán)境中的含量超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)，可以比較容易地探測(cè)到極微量的氦氣；

②氦分子小、質(zhì)量輕、易擴(kuò)散、易穿越漏孔、易于檢測(cè)也易于清除；

③氦離子荷質(zhì)比小，易于進(jìn)行質(zhì)譜分析；

④氦氣是惰性氣體，化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，不會(huì)腐蝕和損傷任何設(shè)備；

⑤氦氣無(wú)毒，不凝結(jié)，極難容于水。

今天科創(chuàng)真空小編和大家分享的是氦質(zhì)譜檢漏的工作原理，希望對(duì)您有所幫助！

真空箱式氦檢漏系統(tǒng)【工作環(huán)境】

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工作環(huán)境:

1、長(zhǎng)×寬×高（設(shè)備占地面積約）：依據(jù)實(shí)物實(shí)際面積為準(zhǔn)。

2、電源：380 V±38 V，50 Hz±0.5 Hz，約22KW；

3、壓縮氣源及減壓器：0.6～0.8Mpa氮?dú)饣蚋稍锴鍧崏嚎s空氣；

4、待檢工件要求清潔、干燥。

5、環(huán)境溫度：   5 ℃ ～ 35 ℃；

6、相對(duì)濕度：   ≤80%；

7、氦氣源及減壓器：氦氣純度為  99％。

8、設(shè)備應(yīng)安裝在通風(fēng)良好的廠房?jī)?nèi)。

真空箱式氦檢漏系統(tǒng)

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概述

本設(shè)備適用對(duì)充氣環(huán)網(wǎng)柜（以下簡(jiǎn)稱工件）進(jìn)行真空法檢漏。同步對(duì)工件和真空箱抽真空，使工件內(nèi)外壓差不大于0.04Mpa，對(duì)被檢工件充注氦氣，應(yīng)用真空箱法進(jìn)行氦質(zhì)譜氣密性檢測(cè)，通過(guò)該裝置判斷出被檢工件中的合格與不合格。今天和大家分享的是氦氣檢漏的性能指標(biāo)，想了解更多產(chǎn)品信息您可撥打圖片上的電話進(jìn)行咨詢。然后將被檢工件內(nèi)的氦氣回收循環(huán)使用，后向工件內(nèi)充入規(guī)定壓力的SF6和氮?dú)夤ぷ鳉怏w。

回收裝置的基本工作原理是采用冷凍液化法。在回收時(shí)，利用壓縮機(jī)的抽吸性和壓縮性把SF6電器設(shè)備內(nèi)一定壓力的SF6氣體吸入壓縮機(jī)，并壓縮至某一較高的壓力。正因?yàn)楸镜仔?，由某些原因引起本底的波?dòng)，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應(yīng)出來(lái)，靈敏度高。同時(shí)利用R22制冷劑的低蒸發(fā)溫度特性，將較高溫度的SF6氣體冷卻至冷凝溫度進(jìn)行液化、貯存。這樣連續(xù)抽吸至SF6壓縮機(jī)串聯(lián)運(yùn)行，直至達(dá)到回收終壓力。

性能特點(diǎn)

1、安全

★ 電氣系統(tǒng)具有自我檢測(cè)、連鎖保護(hù)和報(bào)警功能，確保系統(tǒng)本身運(yùn)行安全可靠和被檢工件的安全。

★ 真空箱門設(shè)安全光電保護(hù)裝置，確保操作者安全

★ 氦氣示蹤安全環(huán)保。

★ 儲(chǔ)氣罐和壓縮機(jī)出口配置安全閥保證系統(tǒng)安全。

2、高靈敏度

★ 檢漏精度高。

★ 抑零功能，消除氦本底影響。