光波超精密——石墨靜壓氣浮導(dǎo)軌

氣浮導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)形式

平面封閉型導(dǎo)軌：這種形式的導(dǎo)軌，由于工作臺(tái)導(dǎo)軌面變形較小，可以達(dá)到高精度，高剛性，大載荷的要求，zui適合用作精密加工機(jī)床和測(cè)量?jī)x器等設(shè)備的長(zhǎng)導(dǎo)軌。

重量平衡式導(dǎo)軌：此結(jié)構(gòu)導(dǎo)軌的圓度、圓筒度和導(dǎo)孔間距等精度完全由機(jī)械加工確定，全部載荷由導(dǎo)柱承擔(dān)，易發(fā)生變形，故除垂直導(dǎo)軌外，多用于輕載荷、短導(dǎo)軌。

真空負(fù)壓平衡式導(dǎo)軌：該導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于加工。但軸承剛度較低，適合負(fù)荷變化小的場(chǎng)合。

光波超精密——石墨靜壓氣浮導(dǎo)軌

真空負(fù)壓平衡式導(dǎo)軌：該導(dǎo)軌與重量平衡式導(dǎo)軌是同一種類型，適用于工作臺(tái)重量輕或不能加重的情況下，在保持真空負(fù)壓和靜壓的同時(shí)，由固定的導(dǎo)軌間隙維持。

線性導(dǎo)軌主要有以下幾種類型

一、滑動(dòng)(動(dòng)壓力)導(dǎo)向器。

二是靜壓導(dǎo)軌，根據(jù)流體的不同，可分為：空氣靜壓導(dǎo)軌(氣浮導(dǎo)軌)和液體靜壓導(dǎo)軌。

三、滾動(dòng)導(dǎo)軌，因滾動(dòng)體不同而分為滾珠導(dǎo)軌和滾柱導(dǎo)軌。

四、磁浮軌道

幾何精度和導(dǎo)向精度是直線導(dǎo)軌各項(xiàng)精度指標(biāo)中比較重要的兩項(xiàng)。

目前，國(guó)內(nèi)外大多數(shù)精密測(cè)量設(shè)備均以空氣靜壓導(dǎo)軌為精密運(yùn)動(dòng)部件，而以氣動(dòng)靜壓花崗巖導(dǎo)軌為參數(shù)適應(yīng)性控制方式，其位置控制精度可達(dá)到 /-15納米。

由于精密測(cè)量?jī)x要求摩擦熱小，不需要太大的載荷，所以主要采用空氣靜壓導(dǎo)軌來(lái)構(gòu)成高精度的直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)。因此測(cè)試儀的導(dǎo)板采用空氣靜壓導(dǎo)軌。

凡是能夠同時(shí)承受軸向、徑向或其他方向力的氣體支撐裝置，就是所謂的氣體靜壓組合裝置。氣靜壓力導(dǎo)軌是一種典型的組合氣靜裝置。由于工作臺(tái)的移動(dòng)量，載重量及精度要求不同，

光波超精密氣浮導(dǎo)軌廠家——石墨靜壓氣浮導(dǎo)軌

安裝時(shí)，無(wú)論是直線導(dǎo)軌還是平面導(dǎo)軌，安裝都比較簡(jiǎn)單，但由于直線導(dǎo)軌橫截面的形狀是以幾何形式呈現(xiàn)的，這種形狀比平面導(dǎo)軌橫截面的形狀要大得多，其原因就在于直線導(dǎo)軌的導(dǎo)軌需要加工溝槽，從而借助溝槽的幫助，才能實(shí)現(xiàn)滑動(dòng)元件的平穩(wěn)滑動(dòng)。

直線導(dǎo)軌可以承受直線部分或其他方向的作用力，這類設(shè)計(jì)，也是直線導(dǎo)軌與平面導(dǎo)軌zui大的區(qū)別之一，所以在選購(gòu)時(shí)也要十分注意這一點(diǎn)。

開(kāi)式靜壓導(dǎo)軌，有以下特性：

承受正載荷的能力很大，承受偏載和顛覆力的能力較差，無(wú)法承受反向載荷；(2)導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于制造和調(diào)整；

當(dāng)導(dǎo)軌尺寸確定后，氣腔壓力僅由載荷來(lái)決定，因此在載荷較小時(shí)，氣膜剛度較低。

總之，開(kāi)式靜壓導(dǎo)軌適用于偏載和顛覆力矩小、載荷均勻、水平放置或只有小角度傾斜的場(chǎng)合。

閉式靜壓導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)部件，除了在其運(yùn)動(dòng)方向上有一個(gè)自由度外，其它運(yùn)動(dòng)自由度均受導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的限制，故屬于幾何閉合。

光波超精密空氣導(dǎo)軌——石墨靜壓氣浮導(dǎo)軌

小孔節(jié)流器矩形空氣靜壓導(dǎo)軌采用俯視圖和剖面圖。壓力為導(dǎo)向器工作時(shí)，氣源氣流通過(guò)進(jìn)氣孔受到節(jié)流作用，氣體從進(jìn)氣孔流出后壓力下降，然后進(jìn)入承載氣膜，并向四周擴(kuò)散流動(dòng)，氣體壓力從承載板外邊界流出，下降到環(huán)境壓力，在承載板與工作臺(tái)面之間形成平均厚度為 h的氣膜。氣流形成一定的壓力場(chǎng)，使支撐板下部表面的氣膜支撐力與上方表面的環(huán)境大氣作用相差甚遠(yuǎn)，可獲得導(dǎo)軌的承載力。當(dāng)負(fù)荷一定時(shí)，氣動(dòng)靜壓導(dǎo)軌和軌道之間自動(dòng)保持相應(yīng)的氣膜厚度，使承載力和負(fù)荷平衡，終實(shí)現(xiàn)氣動(dòng)導(dǎo)軌的重量平衡。

光波超精密技術(shù)研究院——石墨靜壓氣浮導(dǎo)軌

設(shè)備基本配置：裝置主要由高精度花崗石導(dǎo)軌組系統(tǒng)、精密氣浮工作臺(tái)系統(tǒng)、移動(dòng)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、長(zhǎng)導(dǎo)軌電、氣傳輸隨動(dòng)系統(tǒng)、CCD 影像系統(tǒng)、溫度補(bǔ)償系統(tǒng)。

自動(dòng)驅(qū)動(dòng)功能和影像測(cè)量功能的配置

3、設(shè)備的簡(jiǎn)單規(guī)格：3.1、精密導(dǎo)軌采用高精度花崗巖組拼接，長(zhǎng)度按客戶需求，高精度直線導(dǎo)軌的工作面應(yīng)無(wú)劃傷、裂紋、夾層、銹蝕等影響設(shè)備氣浮位移性和設(shè)備絕i對(duì)穩(wěn)定性的質(zhì)量缺陷。

導(dǎo)軌直線度：水平方向：0.003 mm/m 4000mm 0.015 mm； 若裝置行程 6 米以上即需要拼接，單根導(dǎo)軌長(zhǎng)度 4 米。

光波超精密氣浮導(dǎo)軌——石墨靜壓氣浮導(dǎo)軌

3.2 、導(dǎo)軌前端獨(dú)立的工作臺(tái)（不小于 1000x630）mm，安置備用鑲嵌件（螺紋孔），以放置激光測(cè)量系統(tǒng)。

3.3 、主支撐采用專用調(diào)整工裝，氣浮支撐調(diào)整裝置，每根導(dǎo)軌 3 個(gè)，其余采用 5 個(gè)輔助千斤頂支撐。3.4、滑動(dòng)工作臺(tái)系統(tǒng)：滑動(dòng)工作臺(tái)為氣浮結(jié)構(gòu)。

3.4.1. 手動(dòng)方式可實(shí)現(xiàn)微調(diào)，保證對(duì)線及其他定位（自動(dòng)方式另有方案）。

3.4.2. 氣浮滑動(dòng)工作臺(tái)上具有安裝附件的螺紋孔，便于安裝光學(xué)附件及標(biāo)準(zhǔn)  裝置。

3.4.3. 氣吸附滑動(dòng)工作臺(tái)承載能力大于 50 ㎏。