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政策扶持
為促進我國光刻膠產業(yè)的發(fā)展,國家02重大專項給予了大力支持。今年5月,02重大專項實施管理辦公室組織任務驗收組、財務驗收組通過了“極紫外光刻膠材料與實驗室檢測技術研究”項目的任務驗收和財務驗收。
據(jù)悉,經(jīng)過項目組全體成員的努力攻關,完成了EUV光刻膠關鍵材料的設計、制備和合成工藝研究、配方組成和光刻膠制備、實驗室光刻膠性能的初步評價裝備的研發(fā),達到了任務書中規(guī)定的材料和裝備的考核指標。曝光時間,由光源強度,光刻膠種類,厚度等決定,另外,為降低駐波效應影響,可在曝光后需進行烘焙,稱為光后烘焙(PEB)。項目共申請發(fā)明15項(包括國際5項),截止到目前,共獲得授權10項(包括國際授權3項)。
光刻膠編碼 HS編碼: |
3707100001 [類注] | [章注] | [子目注釋] |
中文描述: | 不含銀的感光乳液劑 (CIQ碼:301:液體) |
英文描述: | Non--0--silver light-sensitive emulsion agent |
申報要素: | 0.品牌類型;1.出口享惠情況;2.用途;顯影之后,NR9-3000PY展現(xiàn)出一種倒梯形側壁,這可以方便地作單純的LIFT-OFF處理。3.包裝;4.成分;5.是否含銀;6.品牌;7.型號;8.是否有感光作用(以下要素僅上海海關要求)9.GTIN;10.CAS |
申報要素舉例: | / 1.感光劑;2.用途:感光材料,用于噴墨制版機;3.包裝:瓶裝;4.成分:重氮樹脂94%以上;5.無品牌;6.無型號 |
單位: | 千克 |
NR77-20000PMSDS
光刻膠運輸標識及注意事項
標簽上標明的意思
R標識
R10 YI燃。
S標識
S16 遠離火源-禁止吸煙。
S 24 避免接觸皮膚。
S 33對靜電放電采取預防措施。
S 9 將容器保持在通風良好的地方。
水生毒性
通過自然環(huán)境中的化學、光化學和微生物降解來分解。一般不通過水解降解。300 ppm對水生生物是安全的。鹵化反應可能發(fā)生在水環(huán)境中。