真空磁控濺射鍍膜

所謂濺射就是用荷能粒子（通常用惰性氣體的正離子）去轟擊固體（以下稱靶材）表面，從而引起靶材表面上的原子（或分子）從其中逸出的一種現(xiàn)象。濺射鍍膜技術(shù)濺射鍍膜濺射鍍膜就是在真空中利用荷能粒子轟擊靶表面，使被轟擊出的粒子沉積在基片上的技術(shù)。這一現(xiàn)象是格洛夫（Grove）于1842年在實(shí)驗(yàn)研究陰極腐蝕問題時(shí)，陰極材料被遷移到真空管壁上而發(fā)現(xiàn)的。

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鍍膜機(jī)保養(yǎng)的重要性

大家都知道，鍍膜機(jī)的運(yùn)行狀況會(huì)直接影響鍍膜成品的質(zhì)量，為了更好的運(yùn)行，要對(duì)鍍膜機(jī)進(jìn)行維護(hù)和保養(yǎng)，那么，那么知道真空鍍膜機(jī)維護(hù)和保養(yǎng)的意義嗎？下面，小編給大家講解一下它們的意義。設(shè)備的日常維護(hù)保養(yǎng)是在生產(chǎn)中發(fā)現(xiàn)不正?，F(xiàn)象，盡快解決。磁控濺射的工作原理是指電子在電場(chǎng)E的作用下，在飛向基片過程中與原子發(fā)生碰撞，使其電離產(chǎn)生出Ar正離子和新的電子。發(fā)現(xiàn)機(jī)械泵油減少要添加，不要認(rèn)為油要定期才更換，否者到了維護(hù)時(shí)，泵的轉(zhuǎn)子可能會(huì)磨損嚴(yán)重。例如，一些軸承工件轉(zhuǎn)架卡，要更換軸承，否者等到它完全破碎，問題可就大了，可能會(huì)出現(xiàn)電機(jī)燒毀等問題。定期維護(hù)保養(yǎng)，有些人會(huì)問一個(gè)日常維護(hù)和定期維護(hù)的區(qū)別？實(shí)際上，每個(gè)設(shè)備都有使用壽命，例如，擴(kuò)散泵用的硅油，使用壽命為兩年左右，我們提早更換，這是浪費(fèi)嗎？不是，在生產(chǎn)中不希望出現(xiàn)設(shè)備故障，把日常維護(hù)保養(yǎng)和定期維護(hù)保養(yǎng)都做好了，不僅延長了設(shè)備的使用壽命，還減少了運(yùn)行故障，提高生產(chǎn)效率。

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磁控濺射技術(shù)鍍膜

磁控濺射技術(shù)鍍膜是一種重要的物理的氣相沉積鍍膜技術(shù)，這種工藝可工業(yè)化批量生產(chǎn)。本文重點(diǎn)探討了磁控濺射在光學(xué)鍍膜中的應(yīng)用，包括膜層設(shè)計(jì)和鍍膜工藝。

光學(xué)鍍膜設(shè)計(jì)

（1）減反射膜

減反射也稱增透膜，這種膜主要鍍?cè)谕该鞯驼凵渎驶咨?，如玻璃上鍍減反射膜，常見的膜層結(jié)構(gòu)采用高、低折射率膜層疊加而成

（2）彩色鍍膜 彩色鍍膜主要也是在玻璃等透明基底上鍍膜，其膜層材料和結(jié)構(gòu)類似減反射鍍膜。這種玻璃在可見光下透射和反射的顏色不同。

3）漸變反射膜 漸變反射膜是一種在不同角度觀察，反射的顏色不同的膜層。這種膜層可以鍍?cè)诓Ａ?，也可以鍍?cè)诮饘倩住?

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磁控濺射

磁控濺射是物理氣相沉積（Physical Vapor Deition，PVD）的一種。一般的濺射法可被用于制備金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等多材料，且具有設(shè)備簡單、易于控制、鍍膜面積大和附著力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。

磁控濺射包括很多種類。各有不同工作原理和應(yīng)用對(duì)象。但有一共同點(diǎn)：利用磁場(chǎng)與電場(chǎng)交互作用，使電子在靶表面附近成螺旋狀運(yùn)行，從而增大電子撞擊氣產(chǎn)生離子的概率。所產(chǎn)生的離子在電場(chǎng)作用下撞向靶面從而濺射出靶材。