在相對濕度較高的環(huán)境中，濃縮水形的毛細(xì)管力在顆粒和表面之間形成了連接鍵，可以增加顆粒與硅質(zhì)表面的黏附力。相對濕度小于50%時并不重要，但當(dāng)相對濕度在70%左右時，就成為顆粒之間黏附的主要力量。 到目前為止，在半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室中迫切需要適當(dāng)控制的是光刻膠的敏感性。由于光刻膠對相對濕度極為敏感的特性，它對相對濕度的控制范圍的要求是嚴(yán)格的水準(zhǔn)。 實(shí)際上，相對濕度和溫度對于光刻膠穩(wěn)定性以及的尺寸控制都是很關(guān)鍵的。甚至是在恒溫條件下，光刻膠的粘性將隨著相對濕度的上升而迅速下降。當(dāng)然，改變粘性，就會改變由固定組分涂層形成的保護(hù)膜的厚度。相對濕度的3%的變異將使保護(hù)厚度改變59.2A。 此外，在高的相對濕度環(huán)境下，由于水分的吸收，使烘烤循環(huán)后光刻膠膨脹加重。光刻膠附著力同樣也可 以受到較高的相對濕度的影響;較低的相對濕度(約30%)使光刻膠附著更加容易，甚至不需要聚合改性劑，如六二硅氮烷(HMDS)。

濕度控制是無塵車間生產(chǎn)必需具備的重要條件

濕度控制是無塵車間生產(chǎn)必需具備的重要條件，相對濕度是無塵車間、潔凈室運(yùn)作過程中一個常用的環(huán)境控制條件。半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi)，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi)，例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。 近年，在這些規(guī)定范圍中保持處理空氣過程,天津凈化工程為大家介紹一下相對濕度有一系列可能使?jié)崈羰铱傮w表現(xiàn)下降的因素，其中包括： 1、細(xì)菌生長; 2、工作人員感到室溫舒適的范圍; 3、出現(xiàn)靜電荷; 4、金屬腐蝕; 5、水汽冷凝; 6、光刻的退化; 7、吸水性。

藥廠凈化車間設(shè)計及安裝過程中避免出現(xiàn)不易清潔的部位，進(jìn)行凈化裝修時要控制作業(yè)過程中的發(fā)塵量，并及時進(jìn)行清理，所有的門窗安裝與建筑裝飾、凈化空調(diào)、各種管線、照明燈具的結(jié)合部位縫隙要密封處理。

潔凈室不宜采用砌筑墻抹灰墻面，當(dāng)采用時宜干燥作業(yè)，抹灰應(yīng)采用高等抹灰標(biāo)準(zhǔn)。墻面抹灰后應(yīng)刷涂料面層，并應(yīng)選用難燃、不開裂、耐清洗、表面光滑、不易吸水變質(zhì)發(fā)霉的涂料。

制藥工業(yè)廠房的安全防火要根據(jù)生產(chǎn)過程中使用、產(chǎn)生及存儲的原料、中間品和成品的物理化學(xué)性質(zhì)和數(shù)量及其火災(zāi)危險程度和生產(chǎn)過程的性質(zhì)等情況來確定。

對于化學(xué)合成的生產(chǎn)廠房，其建筑物應(yīng)采用一、二級耐火等級；對于的結(jié)晶精制、干燥等工序以及制劑生產(chǎn)用潔凈廠房，耐火等級要求不低于二級，建筑構(gòu)配件耐火性能應(yīng)與甲、乙類火災(zāi)危險等級相適宜。