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潔凈室中的氣流速度規(guī)定
這里要討論的氣流速度是指潔凈室內的氣流速度,在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設備時再說明。對于亂流潔凈室 由于主主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內污染的程度,所以主要用換氣次數(shù)這一概念,而不直接用速度的概念,不過對室內氣流速度也有如下要求;傳遞窗門均為雙門互鎖,(即一次只能打開一扇門,打開一扇門之后,另一扇門就不能打開)。
(1)送風口出口氣流速度不宜太大,和單純空調房間相比,要求速度衰減更快,擴散角度更大。
(2)吹過水平面的氣流速度(例如側送時回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大干0.2m/s。
無窗潔凈室的照明方式:
(1)一般照明它指不考慮特殊的局部需要,為照亮整個被照面積而設置的照明。
(2)局部照明這是指為增加某一地點(如工作點)的照度而設置的照明。但在室內照明由一般不單獨使用局部照明。
(3)混合照明這是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明,其中一般照明的照度按《潔凈廠房設計規(guī)范》應占總照度的10%—15%,但不低干150LX。 單位被照面積上接受的光通量即是照明單位勒克斯(LX)。
賽達凈化堅持秉承以科技為先導、以市場為導向的科學管理理念,憑借規(guī)范化管理及專業(yè)的技術力量在食品、藥品、化妝品、微電子等諸多工業(yè)領域設計承建了潔凈SC廠房、GMP廠房、無菌室、實驗室及相關配套產品。我們的宗旨:專業(yè)!誠信!高效!
潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,可節(jié)省安裝運轉費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響工作及品質。亂流式(TurbulentFlow)優(yōu)點:構造簡單、系統(tǒng)建造成本低,潔凈室的擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級。ULSI制程大都采用此種型式。
潔凈隧道另有二項優(yōu)點:A.彈性擴充容易; B.維修設備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。