潔凈室中的溫濕度控制

潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間溫度不宜超過25度，濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面難以清除。相對濕度越高,粘附的越難去掉，但當相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)的濕度范圍為35—45%。2．靜電放電引起的放電電流，可導致諸如半導體元件等破壞和誤動作，例如將50塊P-MOS電路放在塑料袋內(nèi)，搖晃數(shù)次后，與非門柵極嚴重擊穿者計39塊，失效率競達78%，這是因為半導體器件對靜電放電十分靈敏。

風淋室是人員進入潔凈無塵車間所必備的凈化設(shè)備，通用性強，可與所有的潔凈室和潔凈廠房配套使用，工作人員進入車間時，必須通過此設(shè)備，用強勁潔凈的空氣，由可旋轉(zhuǎn)噴嘴從各個方向噴射至人身上，有效而迅速清除去附著在衣服上的灰塵、頭發(fā)、發(fā)屑等雜物，它可以減少人進出潔凈室所帶來的污染問題。風淋室的兩道門電子互鎖，可以兼起氣閘室的作用，阻止外界污染和未被凈化的空氣進入潔凈區(qū)域。工作人員將頭發(fā)，灰塵、細菌帶入車間，達到工作場地嚴格的無塵凈化標準，生產(chǎn)出高質(zhì)量的產(chǎn)品。潔凈工程規(guī)范設(shè)計概算辦法，確立設(shè)計概算須經(jīng)過工程標準定額造價管理站和建行等審定，以確定的投資限額作為取費基數(shù)，這樣可去除人為擴大設(shè)計規(guī)模與冒算的費用。    

風淋傳遞窗是潔凈室的一種輔助設(shè)備，為了減少由于貨物進出所帶來的大量塵埃粒子，風淋傳遞窗經(jīng)過濾器過濾后的潔凈氣流由可旋轉(zhuǎn)噴嘴從各個方向噴射至貨物上，有效而迅速清除塵埃粒子，清除后的塵埃粒子再由初、過濾器過濾后重新循環(huán)到風淋區(qū)域內(nèi)。為了達到吹淋的較好效果，噴嘴出風口風速能達到20s以上。三、中途：待底涂干化后，再將配好的中涂料用鏝刀批刮在底涂上（根據(jù)地面基礎(chǔ)情況可批刮多遍）四、面涂：待中涂固化后，鏟去突起的顆粒等雜物，用滾筒把配好的面涂料滾涂在中涂上。

賽達凈化堅持秉承以科技為先導、以市場為導向的科學管理理念，憑借規(guī)范化管理及的技術(shù)力量在食品、藥品、化妝品、微電子等諸多工業(yè)領(lǐng)域設(shè)計承建了潔凈SC廠房、GMP廠房、無菌室、實驗室及相關(guān)配套產(chǎn)品。我們的宗旨：！誠信?。?/span>

特性：

1、固化后的表面硬度高，耐磨損，不起塵；

2、使地面能抵受大的沖擊荷載；

3、與基層混泥土整體粘接，不起鼓，不脫落；

4、堅硬密實的表面可以較大限度的抵抗油脂，特種液壓油和多種工業(yè)用化學試劑的侵蝕滲透；

5、日常清潔方便簡單，節(jié)省物料，降低費用。

適用范圍：適用于大部分工業(yè)廠房、倉庫、停車場、貨倉式商場等，尤其是有車輛行走的區(qū)域。