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進(jìn)車間操作具體步驟
a.一更換鞋步驟:先打開門進(jìn)入一更后,立即關(guān)上門;坐在鞋柜上,把室外鞋脫下后放入鞋柜內(nèi),雙腳不要著地,同時轉(zhuǎn)身換上潔凈區(qū)專用鞋。如穿有外套和攜帶有個人物品,應(yīng)先脫掉外套、取出個人物品放入一更更衣柜。如不需脫外套可直接進(jìn)入二更。
b.二更換衣步驟:打開門進(jìn)入后,立即關(guān)上門;從衣柜內(nèi)取出無塵衣、口罩、手套。先戴好口罩,然后穿上無塵衣,更衣后頭發(fā)不得外露,口罩應(yīng)蓋住鼻孔。更衣完畢后先用洗滌劑洗盡手上的污物,然后用清水沖洗干凈。需要接觸產(chǎn)品的人員要帶潔凈橡膠手套。
c . 進(jìn)入緩沖間步驟:打開門進(jìn)入后,立即關(guān)上門;把手放入消毒液中浸泡至少40秒鐘(只要露出潔凈服的手的部位均要浸到消毒液),再用清水沖洗干凈后烘干;手消毒完成后,然后通過潔凈走廊進(jìn)入各自的生產(chǎn)操作區(qū)域(如帶潔凈手套可直接進(jìn)入)。
凈化車間門窗上的縫隙分為固定縫隙和活動縫隙。性質(zhì)不同在凈化車間門、窗上所占比例也不同。凈化車間門、窗密閉采取的氣密措施也不完全相同。凈化車間門窗縫隙的處理一般來說,凈化車間門窗大都共同具有三類構(gòu)造縫隙。2倍進(jìn)行考慮,務(wù)必注意承載體的強度和可靠性,否則將有重大隱患。一類是樘的組合拼接和樘與凈化車間門洞間的安裝縫隙;二類是樘與開啟扇之間的搭接縫隙;三類是玻璃或其他芯板的安裝縫隙。通常所提的凈化車間門的空氣泄漏無非是由上述三種縫隙產(chǎn)生的問題。
鑒于潔凈室自身的特點,我們在設(shè)計中應(yīng)充分考慮人員安全疏散的要求,綜合分析疏散人、疏散路線、疏散距離等因素,通過科學(xué)計算,選出很佳疏散線路,合理布置安全出口和疏散通道,建立起一個安全的疏散結(jié)構(gòu)體系,使之滿足從生產(chǎn)地點到安全出口不經(jīng)過曲折的凈化路線。此外,由于潔凈室多處于密閉狀態(tài),自然采光條件差,必須在廠房內(nèi)設(shè)置火災(zāi)事故照明和應(yīng)急疏散照明,并應(yīng)在安全出口、疏散口和疏散通道轉(zhuǎn)角處設(shè)置明顯的疏散指示標(biāo)志以便人員認(rèn)清方向,迅速撤離事故現(xiàn)場。第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低,而且操作靈活性很高,可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進(jìn)行系統(tǒng)升級和調(diào)整,這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造的需求,因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為很主要的凈化設(shè)計方案。