干式渦旋泵

深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營(yíng)高科技企業(yè)。主營(yíng)產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標(biāo)真空設(shè)備，真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。⑶真空泵與系統(tǒng)的連接管道應(yīng)密封可靠，對(duì)小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠，對(duì)小真空泵可采用真空膠管連接，管道管徑不得小于真空泵吸氣口徑，且要求管路短而少?gòu)濐^。

真空檢漏設(shè)備公司真空檢漏設(shè)備公司

產(chǎn)品特點(diǎn)◆ 全無(wú)油泵，不會(huì)污染真空系統(tǒng)

　　◆ 采用獨(dú)立馬達(dá)與軸承的密封設(shè)計(jì)

　　◆ 體積小巧：351x181x140mm

　　◆ 與老式的膜片式干泵(隔膜泵)相比具有更低的極限壓強(qiáng)

　　◆ 無(wú)任何可能造成災(zāi)害性系統(tǒng)故障的機(jī)械部件

　　◆ 低噪聲，低振動(dòng)

　　性能特點(diǎn)◆工作狀態(tài)下泵體發(fā)熱低

　　◆馬達(dá)功率不到200瓦，低功耗

　　◆內(nèi)置出氣閥門有效降低工作噪聲

　　◆出氣口位置可以動(dòng)，以便更好地適應(yīng)空間要求

　　◆高壓區(qū)間抽速高，確保迅速進(jìn)入真空狀態(tài)

　　◆重量輕，配有把手，易于攜帶

　　◆內(nèi)置故障保護(hù)隔離閥保證真空系統(tǒng)的安全

　　◆配有自動(dòng)氣鎮(zhèn)閥以有效排空水蒸氣

　　◆維護(hù)簡(jiǎn)便，只需定期更換密封圈即可

　　技術(shù)特點(diǎn)◆獨(dú)有的TriScrollTM專業(yè)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

　　◆具有軸承吹掃功能，保護(hù)軸承不被工藝氣體或粉塵污染

　　◆高可靠性

　　◆具有自動(dòng)氣鎮(zhèn)口

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真空泵

深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營(yíng)高科技企業(yè)。主營(yíng)產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標(biāo)真空設(shè)備，真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，如：2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強(qiáng)范圍760mmHg~25mmHg（絕壓），在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化（詳細(xì)變化情況參照泵的性能曲線），其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為760~60mmHg。

干泵國(guó)外干泵市場(chǎng)的不斷增長(zhǎng)，其主要驅(qū)動(dòng)來(lái)自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵，歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國(guó)外有多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無(wú)油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速?gòu)?0m3/h～500m3/h。⑸按電動(dòng)機(jī)標(biāo)牌規(guī)定連接電源，并接地線和安裝合適規(guī)格的熔斷器及熱繼電器。

水環(huán)泵水環(huán)真空泵（簡(jiǎn)稱水環(huán)泵）是一種粗真空泵，它所能獲得的極限真空為2000~4000Pa，串聯(lián)大氣噴射器可達(dá)270~670Pa。水環(huán)泵也可用作壓縮機(jī)，稱為水環(huán)式壓縮機(jī)，是屬于低壓的壓縮機(jī)，其壓力范圍為1~2×105Pa表壓力。水環(huán)泵初用作自吸水泵，而后逐漸用于石油、化工、機(jī)械、礦山、輕工、醫(yī)yao及食品等許多工業(yè)部門。在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過(guò)程中，如真空過(guò)濾、真空引水、真空送料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等，水環(huán)泵得到廣泛的應(yīng)用。由于真空應(yīng)用技術(shù)的飛躍發(fā)展，水環(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的，故可抽除氣體，此外還可抽除含塵、含水的氣體，因此，水環(huán)泵應(yīng)用日益增多。如圖：在泵體中裝有適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪按圖中順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)時(shí)，水環(huán)的上部?jī)?nèi)表面剛好與葉片頂端接觸（實(shí)際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入 深度）。此時(shí)葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個(gè)月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個(gè)小腔。如果以葉輪的下部0°為起點(diǎn)，那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180°時(shí)小腔的容積由小變大，且與端面上的吸氣口相通，此時(shí)氣體被吸入，當(dāng)吸氣終了時(shí)小腔則與吸氣口隔絕；當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí)，小腔由大變小，使氣體被壓縮；當(dāng)小腔與排氣口相通時(shí)，氣體便被排出泵外。②真空檢漏法：指將管道和檢漏器的敏感元件處于真空狀態(tài)，在管道的外部施加示漏物質(zhì)，如果有漏孔，示漏物質(zhì)就會(huì)通過(guò)漏孔進(jìn)入被檢件和敏感元素空間，由敏感元件檢測(cè)出示漏物質(zhì)的方法。

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真空設(shè)備檢漏

深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營(yíng)高科技企業(yè)。主營(yíng)產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標(biāo)真空設(shè)備，真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。爪式真空泵由于裝配復(fù)雜，轉(zhuǎn)子與軸不為一體，出現(xiàn)故障需全部重新拆解裝配，反復(fù)裝配從而降低產(chǎn)品性能及穩(wěn)定性。

有漏氣必有漏孔，真空技術(shù)中通常指的漏孔是非常微小的，其截面形狀各不相同，漏氣路徑也各式各樣。漏孔常出現(xiàn)在焊縫搭頭、應(yīng)力集中、彎折、拆卸等部位，一般是由于焊接、表面不清潔、工藝規(guī)范不當(dāng)、結(jié)構(gòu)不合理、安裝不仔細(xì)等原因造成。

漏孔的幾何尺寸很小，肉眼不能察覺(jué)，加之漏氣路徑各式各樣，截面形狀又很復(fù)雜，所以漏孔的大小極難用其幾何尺寸來(lái)度量，在真空技術(shù)中漏孔的大小有專門的表示。

由氣體定律PV=M Rt/μ可知，當(dāng)溫度一定時(shí)，氣體的質(zhì)量M可以用氣體的壓強(qiáng)和體積的乘積PV(即氣體量)來(lái)表示，而PV又是容易測(cè)量的，所以漏孔的大小可以用單位時(shí)間漏入系統(tǒng)的氣體量(PV)來(lái)表示，亦稱漏率。其物理意義為壓強(qiáng)×體積/時(shí)間。漏率的國(guó)際單位為"瓦特"(W)或帕·立方米/秒(Pa·m3/s)。水環(huán)泵水環(huán)真空泵（簡(jiǎn)稱水環(huán)泵）是一種粗真空泵，它所能獲得的極限真空為2000~4000Pa，串聯(lián)大氣噴射器可達(dá)270~670Pa。

漏孔的漏率也就是通過(guò)漏孔的氣體流量，這個(gè)氣體流量受環(huán)境溫度、漏孔兩端的壓差和氣體種類等因素的影響。因此為了客觀地反映漏孔的大小，就必須考慮到上述三個(gè)因素。一般為了設(shè)計(jì)、計(jì)算和運(yùn)用方便起見(jiàn)，將漏孔的漏率定義為:在環(huán)境溫度23℃條件下，漏孔的一端為一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，而另一端為真空狀態(tài)時(shí)，單位時(shí)間內(nèi)流過(guò)漏孔的空氣的氣體量。3)爪式真空泵爪式真空泵由多級(jí)轉(zhuǎn)子構(gòu)成，其中每級(jí)都有2個(gè)轉(zhuǎn)子構(gòu)成，兩個(gè)轉(zhuǎn)子反方向旋轉(zhuǎn)，吸氣口與泵腔接通，泵腔容積變大而吸氣，當(dāng)轉(zhuǎn)子關(guān)閉吸氣口時(shí)吸氣結(jié)束，以后泵腔變小而壓縮氣體，當(dāng)排氣口打開(kāi)后泵腔排氣，排氣口關(guān)閉時(shí)則排氣完畢，如此循環(huán)工作。

真空設(shè)備檢漏

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深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營(yíng)高科技企業(yè)。主營(yíng)產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標(biāo)真空設(shè)備，真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。真空檢漏設(shè)備公司真空檢漏設(shè)備公司真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內(nèi)的氣體壓力，使之達(dá)到要求的真空度。

檢漏方法的分類

按被檢容器所處的狀態(tài)可分為兩大類，即加壓檢漏法和真空檢漏法。

(1)加壓檢漏法。在被檢容器內(nèi)充入一定壓力的氣體(稱試驗(yàn)氣體或者探漏氣體)或液體，當(dāng)容器上存在漏孔時(shí)，氣體(或液體)便從漏孔中逸出，從哪里逸出，逸出量的多少等，就可判斷有無(wú)漏孔存在、漏孔位置和大小。屬于此類檢漏方法有:

水壓法:將清潔的水壓入被檢容器中，一般水壓在2~3個(gè)大氣壓左右，觀察容器外壁有無(wú)水珠出現(xiàn)，根據(jù)水珠出現(xiàn)的位置大小和快慢，來(lái)確定漏孔位置和估計(jì)漏氣量的大小。

氣壓法:將試驗(yàn)氣體(空氣或其他氣體)壓入被檢容器，在外面檢查有無(wú)氣體逸出，具體方法有:聲響、火焰、氣泡指示法(水槽法、皂膜法);氨檢漏法;鹵素檢漏儀和氨質(zhì)譜儀吸嘴法和放she性同位素法。其中鹵素檢漏法是，金屬鉑在高溫(常用850~950℃)下產(chǎn)生正離子發(fā)射(主要是堿金屬離子)，這種發(fā)射遇到鹵素氣體時(shí)急劇增加，依據(jù)這個(gè)現(xiàn)象可以制成一種檢漏儀器，即鹵素檢漏儀。⑶真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。

鉑的離子發(fā)射現(xiàn)象被設(shè)置在一個(gè)探頭中，探頭是一支二極電子管結(jié)構(gòu)，加熱絲、陽(yáng)極及不銹鋼陰極組成一間熱式二極管，后部安裝吸氣風(fēng)扇，使用時(shí)不斷吸進(jìn)氣體，工作時(shí)二極管的陽(yáng)極由燈絲加熱到850~950℃，陰極對(duì)陽(yáng)極加有250V負(fù)電壓并收集正離子，離子電流由電子電路放大后，用儀表指示，考慮到檢漏時(shí)無(wú)暇觀察儀表指示，儀表還設(shè)有揚(yáng)聲器，當(dāng)探

出漏孔時(shí)，儀器便發(fā)出聲音。

示漏氣體多用氯的鹵化物，如氟利昂、氯f(wàn)ang、四LV化碳等，其中以氟利昂無(wú)du、不可燃、蒸汽壓力高、靈敏度高被廣泛應(yīng)用。檢漏時(shí)，鹵素氣體充于被檢件內(nèi)，用外探頭在外部

尋找漏孔。這種方法可檢出10-9 Pa·m3/s的漏孔，工業(yè)產(chǎn)品一般為10-6~10-7Pa·m3/s。

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