金剛石線切割設(shè)備

金剛石線切割設(shè)備成為研究和發(fā)展的主流趨勢(shì)，本文介紹國(guó)外硅片切割設(shè)備研究的新進(jìn)展以及國(guó)內(nèi)發(fā)展?fàn)顩r，并介紹筆者參與研制的金剛石環(huán)形線鋸機(jī)的功能、特點(diǎn)和設(shè)計(jì)心得體會(huì)及金剛石單線和環(huán)線切割機(jī)應(yīng)用前景展望。

目前，硬脆性材料，如單晶硅、多晶硅、寶石、玻璃、陶瓷等，具有優(yōu)良、穩(wěn)定的物理和化學(xué)性能(如耐磨損性、抗腐蝕性、電絕緣性等)，在電子、光學(xué)及其它領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用，特別是單晶硅、多晶硅、陶瓷材料被廣泛用于太陽能光伏產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體、真空電鍍等高精端產(chǎn)業(yè)中。線切割設(shè)備的速度調(diào)整：切割速度的大小不僅與材料的性質(zhì)有關(guān)，與切割面的大小也有關(guān)系，同種材料切割時(shí)，被切面較大的切割速度設(shè)置就要相對(duì)較小一些。伴隨半導(dǎo)體、光伏材料技術(shù)的發(fā)展，需求量不斷增加，切割加工量大幅增長(zhǎng)，由于硬脆材料硬度高、脆性大，因此加工難度較大。

?線切割設(shè)備

線切割設(shè)備的速度調(diào)整：

切割速度的大小不僅與材料的性質(zhì)有關(guān)，與切割面的大小也有關(guān)系，同種材料切割時(shí)，被切面較大的切割速度設(shè)置就要相對(duì)較小一些。此公司新開發(fā)的號(hào)稱高速切割機(jī)，線速度也僅達(dá)20m/sec，且環(huán)線周長(zhǎng)較短，長(zhǎng)度2。無論切割何種材料切割速度太快都不利于切割出光滑平整的試樣面，速度太快切割后的樣品表面會(huì)有明顯的切割線痕跡，因此當(dāng)要求切斷試樣同時(shí)還要有很好的面型（平面度、平行度、表面粗糙度）時(shí)一般選用較慢的切割速度。

金剛石線鋸

進(jìn)給速度過快的調(diào)整：

當(dāng)切割過程中金剛石線很快出現(xiàn)弧度，說明所選用的切割速度過快，因此要進(jìn)行適當(dāng)減小，切割過程中繼續(xù)觀察，直到調(diào)整到適于切割的速度為止，這樣可盡可能降低設(shè)備和金剛石線的損耗程度，提高切割速率。

元素金剛石線鋸，在其出現(xiàn)的短短兩年內(nèi)已經(jīng)在光伏、石墨、輪胎生產(chǎn)等行業(yè)內(nèi)被廣泛應(yīng)用，并且有市場(chǎng)反饋越來越多的企業(yè)也在主動(dòng)詢問環(huán)形金剛石線的情況并考慮使用。歡迎各行業(yè)前來咨詢合作。