高純氣體(Purified Gases)氣體工業(yè)名詞，通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個等級純度的氣體。

高純氣體對于不同類別的氣體，純度指標(biāo)不同，例如對于氮，氫，氦而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；管道閥門及連接氣體管道普遍采用球閥、隔膜閥和波紋管閥，根據(jù)氣體純度、有毒性和可燃爆l炸性要求選擇相適應(yīng)的閥門。而對于氧氣，純度為99.99%即可稱高純氧；對于碳?xì)浠衔?，純度?9.99%的即可認(rèn)為是高純氣體。高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極寬，在半導(dǎo)體工業(yè)，高純氮、氫、氦可作為運載氣和保護(hù)氣；高純氣體可作為配制混合氣的底氣。

 高純氣體根據(jù)分子結(jié)構(gòu)的不同可以分為有機(jī)高純氣體，和無機(jī)高純氣體

高純氣體 高純氦氣純度(V/V)：99.999%執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn) ：國標(biāo)：產(chǎn)品介紹： 用于氣球、溫度計、電子管、潛水服等的充氣。健康危害 本品為惰性氣體，高濃度時可使氧分壓降低而有窒息危險。當(dāng)空氣中氦濃度時，患者先出現(xiàn)呼吸加快、注意力不集中l(wèi)   共濟(jì)失調(diào)；繼之出現(xiàn)疲倦無力、煩躁不安、惡心、嘔吐、昏迷、抽搐，以致。吸入 迅速脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難，給輸氧。除取決于制氣或凈化設(shè)備的精度外，在很大程度上受到管路系統(tǒng)諸多因素的影響，因此，管材的選取應(yīng)恪守相關(guān)行業(yè)原則，并注明管道材質(zhì)。如呼吸停止，立即進(jìn)行人工呼吸。就醫(yī)。

3.出氣速率

材料冶煉過程形成的管道材料晶間或者晶格內(nèi)部存在著某些雜質(zhì)，如氮、碳?xì)浠衔锏龋诟呒儦怏w輸送過程中，這些雜質(zhì)會緩慢地釋放出來，污染高純氣體，尤其是雜質(zhì)要求在ppb以上級的高純氣體。通常低碳不銹鋼管的出氣速率極低。

4.吸附性

由于水分等雜質(zhì)是極性分子，吸附性很強。橡膠、塑料或一些表面粗糙的材料極易吸附水分等雜質(zhì)，銅材對水吸附性極強，使用這些材料輸送高純氣體易被污染，除了輸送ppm級以下的氧氣會使用紫銅管外，高純氣體都不采用銅管和塑料管，氣體會接觸到的墊片、填料也不得采用橡膠、塑料材料（包括聚四氟乙烯）。在玻璃制造的高溫加工過程及電子微芯片的制造中，在氮氣保護(hù)氣中加入氫以去除殘余的氧。